相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制
상위련속가조호미파MEMS이상기적연제
The Study of MEMS Millimeter Wave Phase Shifter
  • 万方数据
    华东师范大学学报(自然科学版) 화동사범대학학보(자연과학판)

    2004年 1期 49-55 ,共7页

    郭方敏%朱守正%魏华征%郑莹%朱荣锦%忻佩胜%朱自强%赖宗声%杨根庆%陆卫

    곽방민%주수정%위화정%정형%주영금%흔패성%주자강%뢰종성%양근경%륙위

    MEMS%毫米波相移器%相位连续可调%传输损耗%插入损耗%启动电压 MEMS%毫米波相移器%相位連續可調%傳輸損耗%插入損耗%啟動電壓
    MEMS%호미파상이기%상위련속가조%전수손모%삽입손모%계동전압
    MEMS 毫米波相移器是MEMS 毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能.该文介绍毫米波MEMS 相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列-毫米波相移器在35GHz 时,启动电压5V,20V时相移量达到372°/3.5 mm,并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量.
    MEMS 호미파상이기시MEMS 호미파상공진천선적관건부건지일,타적성능직접결정료호미파상공진천선적성능.해문개소호미파MEMS 상이기적설계,연구저손모츤저,Au,AlxSi1-x가동막대하랍전압화전수손모적영향,측시표명:21교상위련속가조적분포식압공개관진렬-호미파상이기재35GHz 시,계동전압5V,20V시상이량체도372°/3.5 mm,병능재불동적공제전압하근거요구개변상이량.
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