功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2007年
2期
101-106
,共6页
俞丹%卢意飞%戴祝萍%孙剑%吴嘉达
俞丹%盧意飛%戴祝萍%孫劍%吳嘉達
유단%로의비%대축평%손검%오가체
硼碳氮薄膜%脉冲激光沉积%离子束辅助沉积%Kauffman离子源
硼碳氮薄膜%脈遲激光沉積%離子束輔助沉積%Kauffman離子源
붕탄담박막%맥충격광침적%리자속보조침적%Kauffman리자원
以烧结B4C为靶材料、在氮离子束辅助下用脉冲激光沉积方法制备了三元化合物硼碳氮(BCN)薄膜.用X光电子谱和傅立叶变换红外谱方法表征了制备的薄膜.结果表明,膜层中包含B-C、N-C、B-N键等复合结构,以B-C-N原子杂化的形式结合成键,而并非各种成分的简单混合.还探讨了成膜过程和相关机理,离子束中的活性氮有效地和脉冲激光对B4C靶烧蚀产生的硼和碳结合成键,氮离子束的辅助还能在一定程度上抑制氧杂质进入膜层,给衬底适当加温有利于提高氮的含量并影响薄膜的化学结构.
以燒結B4C為靶材料、在氮離子束輔助下用脈遲激光沉積方法製備瞭三元化閤物硼碳氮(BCN)薄膜.用X光電子譜和傅立葉變換紅外譜方法錶徵瞭製備的薄膜.結果錶明,膜層中包含B-C、N-C、B-N鍵等複閤結構,以B-C-N原子雜化的形式結閤成鍵,而併非各種成分的簡單混閤.還探討瞭成膜過程和相關機理,離子束中的活性氮有效地和脈遲激光對B4C靶燒蝕產生的硼和碳結閤成鍵,氮離子束的輔助還能在一定程度上抑製氧雜質進入膜層,給襯底適噹加溫有利于提高氮的含量併影響薄膜的化學結構.
이소결B4C위파재료、재담리자속보조하용맥충격광침적방법제비료삼원화합물붕탄담(BCN)박막.용X광전자보화부립협변환홍외보방법표정료제비적박막.결과표명,막층중포함B-C、N-C、B-N건등복합결구,이B-C-N원자잡화적형식결합성건,이병비각충성분적간단혼합.환탐토료성막과정화상관궤리,리자속중적활성담유효지화맥충격광대B4C파소식산생적붕화탄결합성건,담리자속적보조환능재일정정도상억제양잡질진입막층,급츤저괄당가온유리우제고담적함량병영향박막적화학결구.
