重庆文理学院学报（自然科学版）
重慶文理學院學報（自然科學版）
중경문이학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHONGQING UNIVERSITY OF ARTS AND SCIENCES
2007年
2期
32-35
,共4页
詹勇军%王锋%袁玉全%谌家军
詹勇軍%王鋒%袁玉全%諶傢軍
첨용군%왕봉%원옥전%심가군
脉冲激光沉积(PLD)%NaF薄膜%X射线衍射(XRD)%择优生长
脈遲激光沉積(PLD)%NaF薄膜%X射線衍射(XRD)%擇優生長
맥충격광침적(PLD)%NaF박막%X사선연사(XRD)%택우생장
采用脉冲激光沉积(PLD)法在Si(100)衬底上生长了NaF薄膜.分别用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)对薄膜的微观结构、表面形貌以及薄膜应力进行了表征与分析.AFM测试结果表明,低激光能量密度下制备的薄膜表面均匀、致密,均方根粗糙度(Rms)仅为0.538 nm;XRD分析结果表明,用脉冲激光沉积方法制备的氟化钠薄膜在(222) 晶面有明显的择优取向.应力分析薄膜的残余应力为压应力,应力大小随激光能量密度的增加而增加;XPS分析结果表明,热蒸发制备的NaF薄膜氧含量明显高于PLD方法制备的NaF薄膜的氧含量.热蒸发方法制备的薄膜中的氧含主要来源于水中的氧,PLD方法制备的薄膜中的氧主要来源于游离态氧,说明PLD方法制备的薄膜不容易潮解.
採用脈遲激光沉積(PLD)法在Si(100)襯底上生長瞭NaF薄膜.分彆用原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射(XRD)、X射線光電子能譜(XPS)對薄膜的微觀結構、錶麵形貌以及薄膜應力進行瞭錶徵與分析.AFM測試結果錶明,低激光能量密度下製備的薄膜錶麵均勻、緻密,均方根粗糙度(Rms)僅為0.538 nm;XRD分析結果錶明,用脈遲激光沉積方法製備的氟化鈉薄膜在(222) 晶麵有明顯的擇優取嚮.應力分析薄膜的殘餘應力為壓應力,應力大小隨激光能量密度的增加而增加;XPS分析結果錶明,熱蒸髮製備的NaF薄膜氧含量明顯高于PLD方法製備的NaF薄膜的氧含量.熱蒸髮方法製備的薄膜中的氧含主要來源于水中的氧,PLD方法製備的薄膜中的氧主要來源于遊離態氧,說明PLD方法製備的薄膜不容易潮解.
채용맥충격광침적(PLD)법재Si(100)츤저상생장료NaF박막.분별용원자력현미경(AFM)、X사선연사(XRD)、X사선광전자능보(XPS)대박막적미관결구、표면형모이급박막응력진행료표정여분석.AFM측시결과표명,저격광능량밀도하제비적박막표면균균、치밀,균방근조조도(Rms)부위0.538 nm;XRD분석결과표명,용맥충격광침적방법제비적불화납박막재(222) 정면유명현적택우취향.응력분석박막적잔여응력위압응력,응력대소수격광능량밀도적증가이증가;XPS분석결과표명,열증발제비적NaF박막양함량명현고우PLD방법제비적NaF박막적양함량.열증발방법제비적박막중적양함주요래원우수중적양,PLD방법제비적박막중적양주요래원우유리태양,설명PLD방법제비적박막불용역조해.
