固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2009年
1期
143-146
,共4页
毛健%车录锋%林友玲%李玉芳%周晓峰%熊斌%王跃林
毛健%車錄鋒%林友玲%李玉芳%週曉峰%熊斌%王躍林
모건%차록봉%림우령%리옥방%주효봉%웅빈%왕약림
电容式加速度传感器%硅硅键合%圆片级真空封装%电容间隙控制
電容式加速度傳感器%硅硅鍵閤%圓片級真空封裝%電容間隙控製
전용식가속도전감기%규규건합%원편급진공봉장%전용간극공제
提出了一种高对称电容式微加速度传感器,该传感器为硅四层键合三明治结构,在完成传感器整体结构制作的同时,实现了圆片级真空封装.利用多次氧化的方法,既精确控制了加速度传感器的初始电容问距,又实现了限位凸点的制作.该加速度传感器的谐振频率为657 Hz,品质因子为198,灵敏度为0.59 V/g.
提齣瞭一種高對稱電容式微加速度傳感器,該傳感器為硅四層鍵閤三明治結構,在完成傳感器整體結構製作的同時,實現瞭圓片級真空封裝.利用多次氧化的方法,既精確控製瞭加速度傳感器的初始電容問距,又實現瞭限位凸點的製作.該加速度傳感器的諧振頻率為657 Hz,品質因子為198,靈敏度為0.59 V/g.
제출료일충고대칭전용식미가속도전감기,해전감기위규사층건합삼명치결구,재완성전감기정체결구제작적동시,실현료원편급진공봉장.이용다차양화적방법,기정학공제료가속도전감기적초시전용문거,우실현료한위철점적제작.해가속도전감기적해진빈솔위657 Hz,품질인자위198,령민도위0.59 V/g.
