核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2009年
6期
443-447
,共5页
微结构%质子束刻写%无掩模%光刻胶
微結構%質子束刻寫%無掩模%光刻膠
미결구%질자속각사%무엄모%광각효
在中国科学院上海应用物理研究所的扫描质子微探针装置上,研制了图形化扫描器,同时研究了适合质子束刻写的光刻胶制备、显影、定影技术.在此基础上,开展高能聚焦质子束无掩模刻写实验,在厚度约11μm的PMMA光刻胶上刻写出高纵横比的任意图案,取得了初步质子刻写结果,为进一步开展质子纳米束刻写奠定基础.
在中國科學院上海應用物理研究所的掃描質子微探針裝置上,研製瞭圖形化掃描器,同時研究瞭適閤質子束刻寫的光刻膠製備、顯影、定影技術.在此基礎上,開展高能聚焦質子束無掩模刻寫實驗,在厚度約11μm的PMMA光刻膠上刻寫齣高縱橫比的任意圖案,取得瞭初步質子刻寫結果,為進一步開展質子納米束刻寫奠定基礎.
재중국과학원상해응용물리연구소적소묘질자미탐침장치상,연제료도형화소묘기,동시연구료괄합질자속각사적광각효제비、현영、정영기술.재차기출상,개전고능취초질자속무엄모각사실험,재후도약11μm적PMMA광각효상각사출고종횡비적임의도안,취득료초보질자각사결과,위진일보개전질자납미속각사전정기출.
