机械制造与自动化
機械製造與自動化
궤계제조여자동화
JIANGSU MACHINE BUILDING & AUTOMATION
2009年
4期
11-14
,共4页
卜珺珺%林晓辉%杨决宽%陈云飞
蔔珺珺%林曉輝%楊決寬%陳雲飛
복군군%림효휘%양결관%진운비
飞秒激光%烧蚀阈值%电子密度%等离子体
飛秒激光%燒蝕閾值%電子密度%等離子體
비초격광%소식역치%전자밀도%등리자체
以自由电子运动的速率方程模型为基础,研究了飞秒脉冲激光对绝缘材料的烧蚀机理,考虑了等离子体对激光能量的吸收效应,建立了激光强度与电子数密度及等离子体吸收系数三者相互耦合的数学模型,计算出飞秒激光烧蚀绝缘材料时的烧蚀阈值,分析了考虑等离子体吸收效应对烧蚀阈值的影响,通过与不考虑等离子体吸收所得结果相比较说明该效应是影响烧蚀阈值的一个重要因素.
以自由電子運動的速率方程模型為基礎,研究瞭飛秒脈遲激光對絕緣材料的燒蝕機理,攷慮瞭等離子體對激光能量的吸收效應,建立瞭激光彊度與電子數密度及等離子體吸收繫數三者相互耦閤的數學模型,計算齣飛秒激光燒蝕絕緣材料時的燒蝕閾值,分析瞭攷慮等離子體吸收效應對燒蝕閾值的影響,通過與不攷慮等離子體吸收所得結果相比較說明該效應是影響燒蝕閾值的一箇重要因素.
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