电路与系统学报
電路與繫統學報
전로여계통학보
JOURNAL OF CIRCUITS AND SYSTEMS
2010年
5期
41-45
,共5页
董刚%冷鹏%柴常春%杨银堂
董剛%冷鵬%柴常春%楊銀堂
동강%랭붕%시상춘%양은당
多层互连%温度分布%热扩散长度%深亚微米
多層互連%溫度分佈%熱擴散長度%深亞微米
다층호련%온도분포%열확산장도%심아미미
本文从热扩散方程出发,推导了简单互连的温度分布解析表达式,采用65nm工艺参数,详细讨论了热扩散长度和介质层厚度对互连温度分布的影响;进一步给出了复杂多层互连的温度分布解析表达式并用于其特性模拟,结果显示全局互连的温升远大于半全局互连和局部互连的温升.
本文從熱擴散方程齣髮,推導瞭簡單互連的溫度分佈解析錶達式,採用65nm工藝參數,詳細討論瞭熱擴散長度和介質層厚度對互連溫度分佈的影響;進一步給齣瞭複雜多層互連的溫度分佈解析錶達式併用于其特性模擬,結果顯示全跼互連的溫升遠大于半全跼互連和跼部互連的溫升.
본문종열확산방정출발,추도료간단호련적온도분포해석표체식,채용65nm공예삼수,상세토론료열확산장도화개질층후도대호련온도분포적영향;진일보급출료복잡다층호련적온도분포해석표체식병용우기특성모의,결과현시전국호련적온승원대우반전국호련화국부호련적온승.
