光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
1期
98-102
,共5页
超精密车削%刀具刃口误差%补偿%光学加工
超精密車削%刀具刃口誤差%補償%光學加工
초정밀차삭%도구인구오차%보상%광학가공
超精密车削中的金刚石刀具刃口误差的补偿问题一直是制约高精度非球面车削直接成形的瓶颈技术,尤其对于大相对口径,深度非球面的车削,金刚石刀具刃口误差对最终的面形的影响非常大.传统补偿方法是根据轮廓仪的测量结果对刀具刃口误差进行修正,但是该方法存在测量时间长,高频误差大,加工效率低的缺点,本文最先提出利用车削表面面形误差拟合后的泽尼克多项式系数对刀具刃口误差进行加工补偿,首先对该补偿方法进行了详细的理论推导,然后对补偿效果进行计算机模拟,最后在 Nanotech250 单点金刚石车床上完成了口径 50mm,半径 50 mm 大相对口径实验件的超精密车削及修正车削,面形精度 PV=86 nm,RMS=7 nm.充分证明该补偿符合预期,精度高,误差收敛速度快.
超精密車削中的金剛石刀具刃口誤差的補償問題一直是製約高精度非毬麵車削直接成形的瓶頸技術,尤其對于大相對口徑,深度非毬麵的車削,金剛石刀具刃口誤差對最終的麵形的影響非常大.傳統補償方法是根據輪廓儀的測量結果對刀具刃口誤差進行脩正,但是該方法存在測量時間長,高頻誤差大,加工效率低的缺點,本文最先提齣利用車削錶麵麵形誤差擬閤後的澤尼剋多項式繫數對刀具刃口誤差進行加工補償,首先對該補償方法進行瞭詳細的理論推導,然後對補償效果進行計算機模擬,最後在 Nanotech250 單點金剛石車床上完成瞭口徑 50mm,半徑 50 mm 大相對口徑實驗件的超精密車削及脩正車削,麵形精度 PV=86 nm,RMS=7 nm.充分證明該補償符閤預期,精度高,誤差收斂速度快.
초정밀차삭중적금강석도구인구오차적보상문제일직시제약고정도비구면차삭직접성형적병경기술,우기대우대상대구경,심도비구면적차삭,금강석도구인구오차대최종적면형적영향비상대.전통보상방법시근거륜곽의적측량결과대도구인구오차진행수정,단시해방법존재측량시간장,고빈오차대,가공효솔저적결점,본문최선제출이용차삭표면면형오차의합후적택니극다항식계수대도구인구오차진행가공보상,수선대해보상방법진행료상세적이론추도,연후대보상효과진행계산궤모의,최후재 Nanotech250 단점금강석차상상완성료구경 50mm,반경 50 mm 대상대구경실험건적초정밀차삭급수정차삭,면형정도 PV=86 nm,RMS=7 nm.충분증명해보상부합예기,정도고,오차수렴속도쾌.
