中国光学
中國光學
중국광학
CHINESE JOURNAL OF OPTICS
2011年
2期
196-200
,共5页
魏孜洵%付秀华%石澎%梅禹珊
魏孜洵%付秀華%石澎%梅禹珊
위자순%부수화%석팽%매우산
三维腹腔镜%光学增透膜%真空镀膜%离子辅助沉积
三維腹腔鏡%光學增透膜%真空鍍膜%離子輔助沉積
삼유복강경%광학증투막%진공도막%리자보조침적
根据由多组镜片组成的三维腹腔镜对高透过率和不失真成像的要求,研究并选择了合适的薄膜材料;采用电子束真空镀膜加以离子辅助沉积系统,利用膜系设计软件完成了宽带增透膜的非周期膜系设计.通过调整镀膜工艺参数并采用光控与晶控同时监控的方法,减少了膜厚控制误差,成功地在多组镜片上镀制了宽带增透膜.测试试验显示,制备的膜层在400-700 nm波段的平均反射率＜0.5%,而且颜色不失真,膜层牢固,抗腐蚀效果较好,满足医用光学仪器的使用要求.
根據由多組鏡片組成的三維腹腔鏡對高透過率和不失真成像的要求,研究併選擇瞭閤適的薄膜材料;採用電子束真空鍍膜加以離子輔助沉積繫統,利用膜繫設計軟件完成瞭寬帶增透膜的非週期膜繫設計.通過調整鍍膜工藝參數併採用光控與晶控同時鑑控的方法,減少瞭膜厚控製誤差,成功地在多組鏡片上鍍製瞭寬帶增透膜.測試試驗顯示,製備的膜層在400-700 nm波段的平均反射率＜0.5%,而且顏色不失真,膜層牢固,抗腐蝕效果較好,滿足醫用光學儀器的使用要求.
근거유다조경편조성적삼유복강경대고투과솔화불실진성상적요구,연구병선택료합괄적박막재료;채용전자속진공도막가이리자보조침적계통,이용막계설계연건완성료관대증투막적비주기막계설계.통과조정도막공예삼수병채용광공여정공동시감공적방법,감소료막후공제오차,성공지재다조경편상도제료관대증투막.측시시험현시,제비적막층재400-700 nm파단적평균반사솔＜0.5%,이차안색불실진,막층뢰고,항부식효과교호,만족의용광학의기적사용요구.
