CAJ | 학술논문

介绍了2m比长仪系统的组成,对其采用光电显微镜动态瞄准刻线和激光干涉测长原理进行了分析,研究了提高刻线瞄准精度和激光干涉测长精度的方法及利用现代电子技术实现刻线信号和干涉信号自动同步快速处理方法.自动信号处理系统基于FPGA现场可编程电路技术和计算机技术.通过对金属线纹尺测量的实验表明,依据JJG 331-1994激光干涉比长仪检定规程进行实验,2m比长仪单次最佳刻线瞄准精度优于10 nm(1σ),对其测量的不确定度分析表明,对于测量高质量的高等别线纹尺,其测量不确定度U=(20 +40 L)nm(k =2).
개소료2m비장의계통적조성,대기채용광전현미경동태묘준각선화격광간섭측장원리진행료분석,연구료제고각선묘준정도화격광간섭측장정도적방법급이용현대전자기술실현각선신호화간섭신호자동동보쾌속처리방법.자동신호처리계통기우FPGA현장가편정전로기술화계산궤기술.통과대금속선문척측량적실험표명,의거JJG 331-1994격광간섭비장의검정규정진행실험,2m비장의단차최가각선묘준정도우우10 nm(1σ),대기측량적불학정도분석표명,대우측량고질량적고등별선문척,기측량불학정도U=(20 +40 L)nm(k =2).