电力电子技术
電力電子技術
전력전자기술
POWER ELECTRONICS
1999年
3期
48-50
,共3页
硅片%化学腐蚀/电力半导体器件
硅片%化學腐蝕/電力半導體器件
규편%화학부식/전력반도체기건
按照电化学原理分析硅片化学腐蚀过程,阐述了择优与非择优腐蚀的机理,研究了一套硅片化腐新工艺.这些工艺在电力半导体器件生产中得到了成功的应用.
按照電化學原理分析硅片化學腐蝕過程,闡述瞭擇優與非擇優腐蝕的機理,研究瞭一套硅片化腐新工藝.這些工藝在電力半導體器件生產中得到瞭成功的應用.
안조전화학원리분석규편화학부식과정,천술료택우여비택우부식적궤리,연구료일투규편화부신공예.저사공예재전력반도체기건생산중득도료성공적응용.
