物理学报
物理學報
물이학보
2006年
1期
351-356
,共6页
杨武保%范松华%戈敏%张谷令%沈曾民%杨思泽
楊武保%範鬆華%戈敏%張穀令%瀋曾民%楊思澤
양무보%범송화%과민%장곡령%침증민%양사택
高能等离子体%CVD法%纳米碳膜%衬底材料
高能等離子體%CVD法%納米碳膜%襯底材料
고능등리자체%CVD법%납미탄막%츤저재료
利用自制高能等离子体辅助化学气相沉积设备在1Cr18Ni9Ti衬底上,在离子能量2keV、工作压力2Pa、工作气氛为CH4/H2=10%的工艺条件下得到了一种硬度高、导电性能良好、可能具有碳链结构的新型碳膜.工艺研究结果表明,衬底材料对制备该新型纳米碳膜具有关键作用,离子能量、工作压力及气氛等工艺因素也具有重要作用.原子力显微镜分析结果表明,该薄膜晶粒尺寸小于100nm,薄膜光滑、致密、均匀.拉曼光谱分析显示,该薄膜的拉曼光谱特征为中心峰在1580cm-1附近、显著宽化的单一峰.欧姆计测量表明该薄膜的薄膜电阻为1.6×104Ω/cm2.利用纳米力学探针测得该纳米碳膜的显微硬度为21.38GPa,体弹性模量为420.65GPa.
利用自製高能等離子體輔助化學氣相沉積設備在1Cr18Ni9Ti襯底上,在離子能量2keV、工作壓力2Pa、工作氣氛為CH4/H2=10%的工藝條件下得到瞭一種硬度高、導電性能良好、可能具有碳鏈結構的新型碳膜.工藝研究結果錶明,襯底材料對製備該新型納米碳膜具有關鍵作用,離子能量、工作壓力及氣氛等工藝因素也具有重要作用.原子力顯微鏡分析結果錶明,該薄膜晶粒呎吋小于100nm,薄膜光滑、緻密、均勻.拉曼光譜分析顯示,該薄膜的拉曼光譜特徵為中心峰在1580cm-1附近、顯著寬化的單一峰.歐姆計測量錶明該薄膜的薄膜電阻為1.6×104Ω/cm2.利用納米力學探針測得該納米碳膜的顯微硬度為21.38GPa,體彈性模量為420.65GPa.
이용자제고능등리자체보조화학기상침적설비재1Cr18Ni9Ti츤저상,재리자능량2keV、공작압력2Pa、공작기분위CH4/H2=10%적공예조건하득도료일충경도고、도전성능량호、가능구유탄련결구적신형탄막.공예연구결과표명,츤저재료대제비해신형납미탄막구유관건작용,리자능량、공작압력급기분등공예인소야구유중요작용.원자력현미경분석결과표명,해박막정립척촌소우100nm,박막광활、치밀、균균.랍만광보분석현시,해박막적랍만광보특정위중심봉재1580cm-1부근、현저관화적단일봉.구모계측량표명해박막적박막전조위1.6×104Ω/cm2.이용납미역학탐침측득해납미탄막적현미경도위21.38GPa,체탄성모량위420.65GPa.
