纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2006年
3期
221-224
,共4页
吕宇强%胡明%吴淼%韩雷%梁继然%刘志刚
呂宇彊%鬍明%吳淼%韓雷%樑繼然%劉誌剛
려우강%호명%오묘%한뢰%량계연%류지강
纳米氧化钒薄膜%测辐射热计%温度电阻系数TCR%直流对靶磁控溅射
納米氧化釩薄膜%測輻射熱計%溫度電阻繫數TCR%直流對靶磁控濺射
납미양화범박막%측복사열계%온도전조계수TCR%직류대파자공천사
具有优异热敏性能的氧化钒薄膜材料是红外测辐射热计的首选热敏电阻材料,合适的薄膜电阻及高温度电阻系数的氧化钒薄膜的制备是实现高探测率红外测辐射热计的保证.利用新型对靶反应磁控溅射工艺制备了具有纳米颗粒的氧化钒薄膜材料,确定了最佳工艺参数.对其组成、结构和性能进行了分析,原子力显微镜AFM形貌分析表明薄膜具有均匀致密的表面,X射线光电子能谱分析XPS确定了其组成成分主要为V2O5、VO2和少量的V2O3.在常用作微测辐射热计结构层材料的氮化硅基底上,该薄膜材料在室温附近具有合适的薄膜电阻(大约为每方14 kΩ)以及高的温度电阻系数(-3.17%/℃),有望适用于非致冷红外测辐射热计探测器.
具有優異熱敏性能的氧化釩薄膜材料是紅外測輻射熱計的首選熱敏電阻材料,閤適的薄膜電阻及高溫度電阻繫數的氧化釩薄膜的製備是實現高探測率紅外測輻射熱計的保證.利用新型對靶反應磁控濺射工藝製備瞭具有納米顆粒的氧化釩薄膜材料,確定瞭最佳工藝參數.對其組成、結構和性能進行瞭分析,原子力顯微鏡AFM形貌分析錶明薄膜具有均勻緻密的錶麵,X射線光電子能譜分析XPS確定瞭其組成成分主要為V2O5、VO2和少量的V2O3.在常用作微測輻射熱計結構層材料的氮化硅基底上,該薄膜材料在室溫附近具有閤適的薄膜電阻(大約為每方14 kΩ)以及高的溫度電阻繫數(-3.17%/℃),有望適用于非緻冷紅外測輻射熱計探測器.
구유우이열민성능적양화범박막재료시홍외측복사열계적수선열민전조재료,합괄적박막전조급고온도전조계수적양화범박막적제비시실현고탐측솔홍외측복사열계적보증.이용신형대파반응자공천사공예제비료구유납미과립적양화범박막재료,학정료최가공예삼수.대기조성、결구화성능진행료분석,원자력현미경AFM형모분석표명박막구유균균치밀적표면,X사선광전자능보분석XPS학정료기조성성분주요위V2O5、VO2화소량적V2O3.재상용작미측복사열계결구층재료적담화규기저상,해박막재료재실온부근구유합괄적박막전조(대약위매방14 kΩ)이급고적온도전조계수(-3.17%/℃),유망괄용우비치랭홍외측복사열계탐측기.
