强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2008年
5期
710-714
,共5页
强激光%热管%水冷%腔镜%微变形%有限元分析
彊激光%熱管%水冷%腔鏡%微變形%有限元分析
강격광%열관%수랭%강경%미변형%유한원분석
为消除强激光微沟道水冷镜冷却水压力和扰动对激光输出稳定性的影响和冷却水道对冷却水流量的限制,提出并设计了热管冷却镜.采用ANSYS有限元软件,模拟计算了相同结构下镜面热吸收为12 W/cm2,实心镜、微沟道水冷镜与热管冷却镜连续工作60 s下镜体温升和镜面变形量.计算结果表明:热管冷却镜镜面轴向位移最大峰谷值为0.109 4 μm,微沟道水冷镜最大峰谷值为0.845 μm,实心镜镜面最大峰谷值为1.33 μm,热管冷却镜对镜面变形改善显著.
為消除彊激光微溝道水冷鏡冷卻水壓力和擾動對激光輸齣穩定性的影響和冷卻水道對冷卻水流量的限製,提齣併設計瞭熱管冷卻鏡.採用ANSYS有限元軟件,模擬計算瞭相同結構下鏡麵熱吸收為12 W/cm2,實心鏡、微溝道水冷鏡與熱管冷卻鏡連續工作60 s下鏡體溫升和鏡麵變形量.計算結果錶明:熱管冷卻鏡鏡麵軸嚮位移最大峰穀值為0.109 4 μm,微溝道水冷鏡最大峰穀值為0.845 μm,實心鏡鏡麵最大峰穀值為1.33 μm,熱管冷卻鏡對鏡麵變形改善顯著.
위소제강격광미구도수랭경냉각수압력화우동대격광수출은정성적영향화냉각수도대냉각수류량적한제,제출병설계료열관냉각경.채용ANSYS유한원연건,모의계산료상동결구하경면열흡수위12 W/cm2,실심경、미구도수랭경여열관냉각경련속공작60 s하경체온승화경면변형량.계산결과표명:열관냉각경경면축향위이최대봉곡치위0.109 4 μm,미구도수랭경최대봉곡치위0.845 μm,실심경경면최대봉곡치위1.33 μm,열관냉각경대경면변형개선현저.
