电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2009年
4期
13-18
,共6页
张振宇%胡顺欣%苏延芬%邓建国%刘英坤
張振宇%鬍順訢%囌延芬%鄧建國%劉英坤
장진우%호순흔%소연분%산건국%류영곤
高密度等离子体微波干法刻蚀失效分析
高密度等離子體微波榦法刻蝕失效分析
고밀도등리자체미파간법각식실효분석
以Coria1200M型干法刻蚀机的三种刻蚀模式为基础,分析了微波等离子体刻蚀技术的优缺点,并讨论了下电极结构对干法刻蚀形貌、一致性和重复性的影响.利用微波等离子体刻蚀技术与反应离子刻蚀技术相结合,实现了SiO2各向同性刻蚀,成功应用于质量控制和失效分析等环节.
以Coria1200M型榦法刻蝕機的三種刻蝕模式為基礎,分析瞭微波等離子體刻蝕技術的優缺點,併討論瞭下電極結構對榦法刻蝕形貌、一緻性和重複性的影響.利用微波等離子體刻蝕技術與反應離子刻蝕技術相結閤,實現瞭SiO2各嚮同性刻蝕,成功應用于質量控製和失效分析等環節.
이Coria1200M형간법각식궤적삼충각식모식위기출,분석료미파등리자체각식기술적우결점,병토론료하전겁결구대간법각식형모、일치성화중복성적영향.이용미파등리자체각식기술여반응리자각식기술상결합,실현료SiO2각향동성각식,성공응용우질량공제화실효분석등배절.
