汕头大学学报(自然科学版)
汕頭大學學報(自然科學版)
산두대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SHANTOU UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2004年
1期
50-54
,共5页
余云鹏%林舜辉%黄翀%林璇英
餘雲鵬%林舜輝%黃翀%林璇英
여운붕%림순휘%황충%림선영
薄膜%厚度%透射谱%均匀性
薄膜%厚度%透射譜%均勻性
박막%후도%투사보%균균성
针对膜厚的均匀性对非晶硅薄膜透射光谱(400～1000nm)的影响问题,通过模拟计算分析在不同膜厚、厚度(线性)变化率和照射面积条件下,厚度均匀性对谱线的影响.结果表明这种影响主要发生在薄膜的无吸收区和弱吸收区,表现为峰-峰值变小和振荡周期畸变.减小照射面积可有效地降低这种影响.
針對膜厚的均勻性對非晶硅薄膜透射光譜(400～1000nm)的影響問題,通過模擬計算分析在不同膜厚、厚度(線性)變化率和照射麵積條件下,厚度均勻性對譜線的影響.結果錶明這種影響主要髮生在薄膜的無吸收區和弱吸收區,錶現為峰-峰值變小和振盪週期畸變.減小照射麵積可有效地降低這種影響.
침대막후적균균성대비정규박막투사광보(400～1000nm)적영향문제,통과모의계산분석재불동막후、후도(선성)변화솔화조사면적조건하,후도균균성대보선적영향.결과표명저충영향주요발생재박막적무흡수구화약흡수구,표현위봉-봉치변소화진탕주기기변.감소조사면적가유효지강저저충영향.
