纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2007年
3期
190-196
,共7页
微机电系统%谐振%磁强计%电容检测
微機電繫統%諧振%磁彊計%電容檢測
미궤전계통%해진%자강계%전용검측
研究了基于扭摆式结构的谐振式磁强计及其激振与测控系统,设计了扭摆式谐振磁强计的基本结构,其对称式结构能够抑制加速度对磁场检测的干扰.设计了L形梁来释放加工过程中的应力,推导了开环系统和闭环系统的传递函数,通过初步参数设计,对扭矩随线圈匝数的变化进行了仿真,并介绍了基于对被测信号进行调制和同步解调的电容检测原理.结果表明,该谐振式MEMS磁强计灵敏度和分辨率高,多匝线圈方案使器件灵敏度大幅度提高,10匝线圈时的扭矩是单匝线圈的8倍,磁强计分辨率优于30 nT.
研究瞭基于扭襬式結構的諧振式磁彊計及其激振與測控繫統,設計瞭扭襬式諧振磁彊計的基本結構,其對稱式結構能夠抑製加速度對磁場檢測的榦擾.設計瞭L形樑來釋放加工過程中的應力,推導瞭開環繫統和閉環繫統的傳遞函數,通過初步參數設計,對扭矩隨線圈匝數的變化進行瞭倣真,併介紹瞭基于對被測信號進行調製和同步解調的電容檢測原理.結果錶明,該諧振式MEMS磁彊計靈敏度和分辨率高,多匝線圈方案使器件靈敏度大幅度提高,10匝線圈時的扭矩是單匝線圈的8倍,磁彊計分辨率優于30 nT.
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