电化学
電化學
전화학
2008年
1期
66-70
,共5页
蔡敏真%宋杰%吴启辉%郑明森%吴孙桃%董全峰
蔡敏真%宋傑%吳啟輝%鄭明森%吳孫桃%董全峰
채민진%송걸%오계휘%정명삼%오손도%동전봉
氧化锡薄膜%阳极材料%磁控溅射%电化学性能
氧化錫薄膜%暘極材料%磁控濺射%電化學性能
양화석박막%양겁재료%자공천사%전화학성능
应用射频磁控溅射技术在硅基底上制备氧化锡薄膜,着重研究溅射功率对薄膜结构和电化学性能的影响.XRD,SEM分析及恒电流充放电测试表明,随着溅射功率的增大,薄膜的结晶程度提高;生长速率和晶粒尺寸增大;电池的贮锂容量减少,且首圈不可逆容量损失增大.溅射功率对薄膜的电化学性能有较大的影响.
應用射頻磁控濺射技術在硅基底上製備氧化錫薄膜,著重研究濺射功率對薄膜結構和電化學性能的影響.XRD,SEM分析及恆電流充放電測試錶明,隨著濺射功率的增大,薄膜的結晶程度提高;生長速率和晶粒呎吋增大;電池的貯鋰容量減少,且首圈不可逆容量損失增大.濺射功率對薄膜的電化學性能有較大的影響.
응용사빈자공천사기술재규기저상제비양화석박막,착중연구천사공솔대박막결구화전화학성능적영향.XRD,SEM분석급항전류충방전측시표명,수착천사공솔적증대,박막적결정정도제고;생장속솔화정립척촌증대;전지적저리용량감소,차수권불가역용량손실증대.천사공솔대박막적전화학성능유교대적영향.
