太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2008年
5期
560-563
,共4页
徐华毕%梁宗存%李青松%李仲吉%沈辉
徐華畢%樑宗存%李青鬆%李仲吉%瀋輝
서화필%량종존%리청송%리중길%침휘
废弃电子级硅片%回收%喷砂%化学腐蚀
廢棄電子級硅片%迴收%噴砂%化學腐蝕
폐기전자급규편%회수%분사%화학부식
讨论了来源于半导体器件行业的废弃电子级硅片的回收处理工艺.首先对不同样品进行分类,然后对硅片表面金属杂质层进行喷砂或化学腐蚀处理;并对样品进行了扫描电镜(SEM)、电学性能和痕量杂质元素方面的测试和分析.结果表明使用该方法回收处理废弃硅片切实可行,并能有效地节约利用高纯硅材料,对当前供不应求的太阳能级硅材料起到一定的补充作用.
討論瞭來源于半導體器件行業的廢棄電子級硅片的迴收處理工藝.首先對不同樣品進行分類,然後對硅片錶麵金屬雜質層進行噴砂或化學腐蝕處理;併對樣品進行瞭掃描電鏡(SEM)、電學性能和痕量雜質元素方麵的測試和分析.結果錶明使用該方法迴收處理廢棄硅片切實可行,併能有效地節約利用高純硅材料,對噹前供不應求的太暘能級硅材料起到一定的補充作用.
토론료래원우반도체기건행업적폐기전자급규편적회수처리공예.수선대불동양품진행분류,연후대규편표면금속잡질층진행분사혹화학부식처리;병대양품진행료소묘전경(SEM)、전학성능화흔량잡질원소방면적측시화분석.결과표명사용해방법회수처리폐기규편절실가행,병능유효지절약이용고순규재료,대당전공불응구적태양능급규재료기도일정적보충작용.
