高校化学工程学报
高校化學工程學報
고교화학공정학보
JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING OF CHINESE UNIVERSITIES
2009年
2期
279-283
,共5页
郑华均%钟金环%郑正德%王醒东
鄭華均%鐘金環%鄭正德%王醒東
정화균%종금배%정정덕%왕성동
铝基纳米点阵模板%直流反应磁控溅射%氧化锌薄膜%光致发光
鋁基納米點陣模闆%直流反應磁控濺射%氧化鋅薄膜%光緻髮光
려기납미점진모판%직류반응자공천사%양화자박막%광치발광
通过电化学阳极氧化-化学溶蚀技术制备了一种由无数纳米凸点和凹点所构成的新型铝基纳米点阵模板.采用直流反应磁控溅射法在这种新型模板上沉积得到氧化锌纳米结构薄膜.在室温下观察了氧化锌纳米结构薄膜的形貌,测定材料的晶体结构和光致发光(PL)性能,并讨论了不同溅射时间下制备的氧化锌纳米阵列结构以及其对氧化锌PL谱的性能影响.结果表明,采用直流反应磁控溅射-铝基纳米点阵模板可以制备ZnO纳米结构薄膜;PL谱表明溅射时间为10 min得到的氧化锌薄膜在396.5 nm和506.4 nm处分别出现紫外发射峰和蓝绿色荧光发射峰;随着溅射时间延长,氧化锌薄膜PL谱伴有红移现象且强度逐渐增强.这可能是由于改善了晶粒结构导致不能观测到ZnO薄膜的深能级发射峰所致.
通過電化學暘極氧化-化學溶蝕技術製備瞭一種由無數納米凸點和凹點所構成的新型鋁基納米點陣模闆.採用直流反應磁控濺射法在這種新型模闆上沉積得到氧化鋅納米結構薄膜.在室溫下觀察瞭氧化鋅納米結構薄膜的形貌,測定材料的晶體結構和光緻髮光(PL)性能,併討論瞭不同濺射時間下製備的氧化鋅納米陣列結構以及其對氧化鋅PL譜的性能影響.結果錶明,採用直流反應磁控濺射-鋁基納米點陣模闆可以製備ZnO納米結構薄膜;PL譜錶明濺射時間為10 min得到的氧化鋅薄膜在396.5 nm和506.4 nm處分彆齣現紫外髮射峰和藍綠色熒光髮射峰;隨著濺射時間延長,氧化鋅薄膜PL譜伴有紅移現象且彊度逐漸增彊.這可能是由于改善瞭晶粒結構導緻不能觀測到ZnO薄膜的深能級髮射峰所緻.
통과전화학양겁양화-화학용식기술제비료일충유무수납미철점화요점소구성적신형려기납미점진모판.채용직류반응자공천사법재저충신형모판상침적득도양화자납미결구박막.재실온하관찰료양화자납미결구박막적형모,측정재료적정체결구화광치발광(PL)성능,병토론료불동천사시간하제비적양화자납미진렬결구이급기대양화자PL보적성능영향.결과표명,채용직류반응자공천사-려기납미점진모판가이제비ZnO납미결구박막;PL보표명천사시간위10 min득도적양화자박막재396.5 nm화506.4 nm처분별출현자외발사봉화람록색형광발사봉;수착천사시간연장,양화자박막PL보반유홍이현상차강도축점증강.저가능시유우개선료정립결구도치불능관측도ZnO박막적심능급발사봉소치.
