山东师范大学学报（自然科学版）
山東師範大學學報（自然科學版）
산동사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGOND NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2010年
2期
50-52
,共3页
PbTe%RF磁控溅射%退火%纳米颗粒
PbTe%RF磁控濺射%退火%納米顆粒
PbTe%RF자공천사%퇴화%납미과립
利用RF磁控溅射和真空退火方法制备了PbTe纳米薄膜.利用SEM、XRD、AFM和FTIR分别对制备的样品的表面形貌和颗粒大小、结构以及带隙宽度进行了测试.结果显示,在10 W溅射功率下制备的PbTe纳米薄膜为纳米颗粒镶嵌薄膜,在20 W功率下为PbTe颗粒膜.10 W制备的纳米颗粒的平均直径为40 nm左右,平均高度为5 nm; 20 W制备的颗粒直径为100 -400 nm,平均高度为65 nm;两个条件下制备的样品均表现出明显的<100>方向的择优取向性,并且20 W的结晶质量比10 W的好.FTIR分析显示10 W和20 W制备的薄膜的带隙宽度分别为0.340 eV和0.343 eV,都比块体带隙宽度大.
利用RF磁控濺射和真空退火方法製備瞭PbTe納米薄膜.利用SEM、XRD、AFM和FTIR分彆對製備的樣品的錶麵形貌和顆粒大小、結構以及帶隙寬度進行瞭測試.結果顯示,在10 W濺射功率下製備的PbTe納米薄膜為納米顆粒鑲嵌薄膜,在20 W功率下為PbTe顆粒膜.10 W製備的納米顆粒的平均直徑為40 nm左右,平均高度為5 nm; 20 W製備的顆粒直徑為100 -400 nm,平均高度為65 nm;兩箇條件下製備的樣品均錶現齣明顯的<100>方嚮的擇優取嚮性,併且20 W的結晶質量比10 W的好.FTIR分析顯示10 W和20 W製備的薄膜的帶隙寬度分彆為0.340 eV和0.343 eV,都比塊體帶隙寬度大.
이용RF자공천사화진공퇴화방법제비료PbTe납미박막.이용SEM、XRD、AFM화FTIR분별대제비적양품적표면형모화과립대소、결구이급대극관도진행료측시.결과현시,재10 W천사공솔하제비적PbTe납미박막위납미과립양감박막,재20 W공솔하위PbTe과립막.10 W제비적납미과립적평균직경위40 nm좌우,평균고도위5 nm; 20 W제비적과립직경위100 -400 nm,평균고도위65 nm;량개조건하제비적양품균표현출명현적<100>방향적택우취향성,병차20 W적결정질량비10 W적호.FTIR분석현시10 W화20 W제비적박막적대극관도분별위0.340 eV화0.343 eV,도비괴체대극관도대.
