电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2010年
9期
13-15
,共3页
郑娜%康浩%郭庆磊%潘静%胡晓云
鄭娜%康浩%郭慶磊%潘靜%鬍曉雲
정나%강호%곽경뢰%반정%호효운
增透膜%sol-gel法%金属离子掺杂%TiO2-SiO2薄膜
增透膜%sol-gel法%金屬離子摻雜%TiO2-SiO2薄膜
증투막%sol-gel법%금속리자참잡%TiO2-SiO2박막
为了得到高增透的TiO2-SiO2薄膜,采用sol-gel法制备了金属离子掺杂的TiO2-SiO2薄膜,并对其透射光谱和薄膜厚度进行了表征,研究了退火温度及不同金属离子掺杂(Al3+、Fe3+和Zn2+)对TiO2-SiO2薄膜增透性能的影响.结果表明:Al3+、Fe3+可提高薄膜在可见光波段的增透性,其中,掺杂Al3+的摩尔分数为0.4%的薄膜,未经退火处理的增透性能最佳(透射率可达98%).掺杂Fe3+使薄膜的截止波长红移量最大,约为14 nm.
為瞭得到高增透的TiO2-SiO2薄膜,採用sol-gel法製備瞭金屬離子摻雜的TiO2-SiO2薄膜,併對其透射光譜和薄膜厚度進行瞭錶徵,研究瞭退火溫度及不同金屬離子摻雜(Al3+、Fe3+和Zn2+)對TiO2-SiO2薄膜增透性能的影響.結果錶明:Al3+、Fe3+可提高薄膜在可見光波段的增透性,其中,摻雜Al3+的摩爾分數為0.4%的薄膜,未經退火處理的增透性能最佳(透射率可達98%).摻雜Fe3+使薄膜的截止波長紅移量最大,約為14 nm.
위료득도고증투적TiO2-SiO2박막,채용sol-gel법제비료금속리자참잡적TiO2-SiO2박막,병대기투사광보화박막후도진행료표정,연구료퇴화온도급불동금속리자참잡(Al3+、Fe3+화Zn2+)대TiO2-SiO2박막증투성능적영향.결과표명:Al3+、Fe3+가제고박막재가견광파단적증투성,기중,참잡Al3+적마이분수위0.4%적박막,미경퇴화처리적증투성능최가(투사솔가체98%).참잡Fe3+사박막적절지파장홍이량최대,약위14 nm.
