真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
2期
144-148
,共5页
姚宁%邢宏伟%穆慧慧%崔娜娜%葛亚爽%王英俭%张兵临
姚寧%邢宏偉%穆慧慧%崔娜娜%葛亞爽%王英儉%張兵臨
요저%형굉위%목혜혜%최나나%갈아상%왕영검%장병림
掺铝氧化锌%缓冲层%Al2O3%有机电致发光器件
摻鋁氧化鋅%緩遲層%Al2O3%有機電緻髮光器件
참려양화자%완충층%Al2O3%유궤전치발광기건
采用直流磁控溅射法制备ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,薄膜电阻率为5.3×10-4Ω·cm,可见光区平均透过率大于85%.采用施加缓冲层的方法,在AZO和NPB之间加入一层Al2O3绝缘薄膜,提高了AZO阳极有机电致发光器件的性能,分析了Al2O3缓冲层的作用机理.结果表明施加1.5 nm缓冲层后器件的电流效率是单纯AZO阳极器件的3.4倍,同时也高于传统ITO器件.
採用直流磁控濺射法製備ZnO:Al(AZO)透明導電薄膜,薄膜電阻率為5.3×10-4Ω·cm,可見光區平均透過率大于85%.採用施加緩遲層的方法,在AZO和NPB之間加入一層Al2O3絕緣薄膜,提高瞭AZO暘極有機電緻髮光器件的性能,分析瞭Al2O3緩遲層的作用機理.結果錶明施加1.5 nm緩遲層後器件的電流效率是單純AZO暘極器件的3.4倍,同時也高于傳統ITO器件.
채용직류자공천사법제비ZnO:Al(AZO)투명도전박막,박막전조솔위5.3×10-4Ω·cm,가견광구평균투과솔대우85%.채용시가완충층적방법,재AZO화NPB지간가입일층Al2O3절연박막,제고료AZO양겁유궤전치발광기건적성능,분석료Al2O3완충층적작용궤리.결과표명시가1.5 nm완충층후기건적전류효솔시단순AZO양겁기건적3.4배,동시야고우전통ITO기건.
