粉末冶金材料科学与工程
粉末冶金材料科學與工程
분말야금재료과학여공정
POWDER METALLURGY MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2011年
2期
187-195
,共9页
魏秋平%田孟昆%马莉%陈中%刘培植%余志明
魏鞦平%田孟昆%馬莉%陳中%劉培植%餘誌明
위추평%전맹곤%마리%진중%류배식%여지명
金刚石薄膜%甲烷体积分数%热丝辐射距离%拉曼光谱%热丝化学气相沉积
金剛石薄膜%甲烷體積分數%熱絲輻射距離%拉曼光譜%熱絲化學氣相沉積
금강석박막%갑완체적분수%열사복사거리%랍만광보%열사화학기상침적
以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(Hot filaments chemical vapor deposition,HFCVD),在WC-3%Co条状平板上制备金刚石薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)和洛氏硬度仪分析薄膜的形貌、结构、成分和附着性能,研究热丝辐射距离和反应气体中甲烷的体积分数对金刚石薄膜的影响.结果表明:热丝辐射距离和甲烷体积分数增加会使薄膜中金刚石相(sp3杂化)减少,且热丝辐射距离和甲烷体积分数显著影响薄膜中sp2杂化碳相的种类和含量.当热丝辐射距离约为9～13 mm时,薄膜的成分和结构受热丝辐射距离变化的影响较小:而在热丝辐射距离在13～17 mm范围内时,薄膜的成分和结构受热丝辐射距离的影响较大.压痕测试表明在WC-3%Co硬质合金基体上沉积的金刚石薄膜与基体的附着性能良好.
以H2和CH4作為反應氣體,採用熱絲化學氣相沉積法(Hot filaments chemical vapor deposition,HFCVD),在WC-3%Co條狀平闆上製備金剛石薄膜,利用掃描電鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)、激光拉曼光譜(Raman)和洛氏硬度儀分析薄膜的形貌、結構、成分和附著性能,研究熱絲輻射距離和反應氣體中甲烷的體積分數對金剛石薄膜的影響.結果錶明:熱絲輻射距離和甲烷體積分數增加會使薄膜中金剛石相(sp3雜化)減少,且熱絲輻射距離和甲烷體積分數顯著影響薄膜中sp2雜化碳相的種類和含量.噹熱絲輻射距離約為9～13 mm時,薄膜的成分和結構受熱絲輻射距離變化的影響較小:而在熱絲輻射距離在13～17 mm範圍內時,薄膜的成分和結構受熱絲輻射距離的影響較大.壓痕測試錶明在WC-3%Co硬質閤金基體上沉積的金剛石薄膜與基體的附著性能良好.
이H2화CH4작위반응기체,채용열사화학기상침적법(Hot filaments chemical vapor deposition,HFCVD),재WC-3%Co조상평판상제비금강석박막,이용소묘전경(SEM)、X사선연사(XRD)、격광랍만광보(Raman)화락씨경도의분석박막적형모、결구、성분화부착성능,연구열사복사거리화반응기체중갑완적체적분수대금강석박막적영향.결과표명:열사복사거리화갑완체적분수증가회사박막중금강석상(sp3잡화)감소,차열사복사거리화갑완체적분수현저영향박막중sp2잡화탄상적충류화함량.당열사복사거리약위9～13 mm시,박막적성분화결구수열사복사거리변화적영향교소:이재열사복사거리재13～17 mm범위내시,박막적성분화결구수열사복사거리적영향교대.압흔측시표명재WC-3%Co경질합금기체상침적적금강석박막여기체적부착성능량호.
