机械科学与技术
機械科學與技術
궤계과학여기술
MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
12期
1430-1432
,共3页
杨开明%叶佩青%游华云%褚毅成
楊開明%葉珮青%遊華雲%褚毅成
양개명%협패청%유화운%저의성
直线电机%精密工作台%扰动观测器%运动控制
直線電機%精密工作檯%擾動觀測器%運動控製
직선전궤%정밀공작태%우동관측기%운동공제
针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有机械阻尼、抗扰动性能差的特点,为了在较短的位置伺服周期内(110μs)抑制工作台上的线缆扰动以及直线电机推力波动的影响,提高工作台的轨迹跟踪精度,采用了基于精密工作台名义模型的方法设计扰动观测器,构成PD+扰动观测器的运动控制结构.通过实验,与没有扰动观测器的PD控制相比较,工作台静态定位精度提高了0.3μm,以120 mm/s匀速运动时工作台的轨迹跟踪精度提高了2μm.结果表明,该控制方法计算量小,抑制外部扰动效果好,有利于工作台综合性能的提高.
針對直線電機驅動、氣浮導軌支撐的精密工作檯沒有機械阻尼、抗擾動性能差的特點,為瞭在較短的位置伺服週期內(110μs)抑製工作檯上的線纜擾動以及直線電機推力波動的影響,提高工作檯的軌跡跟蹤精度,採用瞭基于精密工作檯名義模型的方法設計擾動觀測器,構成PD+擾動觀測器的運動控製結構.通過實驗,與沒有擾動觀測器的PD控製相比較,工作檯靜態定位精度提高瞭0.3μm,以120 mm/s勻速運動時工作檯的軌跡跟蹤精度提高瞭2μm.結果錶明,該控製方法計算量小,抑製外部擾動效果好,有利于工作檯綜閤性能的提高.
침대직선전궤구동、기부도궤지탱적정밀공작태몰유궤계조니、항우동성능차적특점,위료재교단적위치사복주기내(110μs)억제공작태상적선람우동이급직선전궤추력파동적영향,제고공작태적궤적근종정도,채용료기우정밀공작태명의모형적방법설계우동관측기,구성PD+우동관측기적운동공제결구.통과실험,여몰유우동관측기적PD공제상비교,공작태정태정위정도제고료0.3μm,이120 mm/s균속운동시공작태적궤적근종정도제고료2μm.결과표명,해공제방법계산량소,억제외부우동효과호,유리우공작태종합성능적제고.
