真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
z1期
44-49
,共6页
任妮%马占吉%肖更竭%武生虎%程峰
任妮%馬佔吉%肖更竭%武生虎%程峰
임니%마점길%초경갈%무생호%정봉
NiTi合金%类金刚石薄膜%电弧离子镀
NiTi閤金%類金剛石薄膜%電弧離子鍍
NiTi합금%류금강석박막%전호리자도
用脉冲电弧离子镀技术在NiTi合金生物材料表面沉积了类金刚石(DLC)薄膜.研究分析结果表明制备的DLC薄膜是四面体非晶碳薄膜;随着DLC薄膜厚度的增加,薄膜的表面粗糙度增加,薄膜中sp3的含量减少;随着sp3含量的增加,薄膜的纳米硬度升高;划痕实验表明临界载荷大于0.9 N.研究得出:与NiTi合金相比,DLC薄膜能够有效地降低摩擦系数和磨损.DLC薄膜的摩擦系数主要与薄膜的硬度及薄膜中sp3的含量有关,DLC薄膜的磨损主要是轻微的磨粒磨损及疲劳磨损.
用脈遲電弧離子鍍技術在NiTi閤金生物材料錶麵沉積瞭類金剛石(DLC)薄膜.研究分析結果錶明製備的DLC薄膜是四麵體非晶碳薄膜;隨著DLC薄膜厚度的增加,薄膜的錶麵粗糙度增加,薄膜中sp3的含量減少;隨著sp3含量的增加,薄膜的納米硬度升高;劃痕實驗錶明臨界載荷大于0.9 N.研究得齣:與NiTi閤金相比,DLC薄膜能夠有效地降低摩抆繫數和磨損.DLC薄膜的摩抆繫數主要與薄膜的硬度及薄膜中sp3的含量有關,DLC薄膜的磨損主要是輕微的磨粒磨損及疲勞磨損.
용맥충전호리자도기술재NiTi합금생물재료표면침적료류금강석(DLC)박막.연구분석결과표명제비적DLC박막시사면체비정탄박막;수착DLC박막후도적증가,박막적표면조조도증가,박막중sp3적함량감소;수착sp3함량적증가,박막적납미경도승고;화흔실험표명림계재하대우0.9 N.연구득출:여NiTi합금상비,DLC박막능구유효지강저마찰계수화마손.DLC박막적마찰계수주요여박막적경도급박막중sp3적함량유관,DLC박막적마손주요시경미적마립마손급피로마손.
