分子束外延法在Sapphire衬底上生长的Zn1-xMgxO薄膜折射率及厚度的测试
분자속외연법재Sapphire츤저상생장적Zn1-xMgxO박막절사솔급후도적측시
Measurement of thickness and refractive index of Zn1-xMgxO film grown on sapphire substrate by molecular beam epitaxy
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2007年 7期 4127-4131 ,共5页

    延凤平%郑凯%王琳%李一凡%龚桃荣%简水生%尾形健一%小池一步%佐佐诚彦%井上正崇%矢野满明

    연봉평%정개%왕림%리일범%공도영%간수생%미형건일%소지일보%좌좌성언%정상정숭%시야만명

    ZnMgO薄膜%偏振光椭圆率测量仪%折射率%分子束外延(MBE) ZnMgO薄膜%偏振光橢圓率測量儀%摺射率%分子束外延(MBE)
    ZnMgO박막%편진광타원솔측량의%절사솔%분자속외연(MBE)
    利用偏振光椭圆率测量仪对分子束外延(MBE)法在Sapphire衬底上生长的Zn1-xMgxO薄膜的薄膜折射率和厚度进行了测试.结合ICP法测得的薄膜中的Mg组成量,经数值拟合,导出表征薄膜厚度与薄膜生长条件、薄膜折射率与薄膜中的Mg组成量之间关系的曲线,为MBE法在Sapphire衬底上生长Zn1-xMgxO薄膜时控制薄膜厚度以及在制作Zn1-xMgxO薄膜的波导时控制薄膜的折射率提供了理论依据.
    이용편진광타원솔측량의대분자속외연(MBE)법재Sapphire츤저상생장적Zn1-xMgxO박막적박막절사솔화후도진행료측시.결합ICP법측득적박막중적Mg조성량,경수치의합,도출표정박막후도여박막생장조건、박막절사솔여박막중적Mg조성량지간관계적곡선,위MBE법재Sapphire츤저상생장Zn1-xMgxO박막시공제박막후도이급재제작Zn1-xMgxO박막적파도시공제박막적절사솔제공료이론의거.
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