应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2007年
5期
671-673
,共3页
王生云%杨红%张玫%姜昌录
王生雲%楊紅%張玫%薑昌錄
왕생운%양홍%장매%강창록
校准规范%数字式干涉仪%平面度测量
校準規範%數字式榦涉儀%平麵度測量
교준규범%수자식간섭의%평면도측량
数字式激光平面干涉仪是用于测量光学元件面形和无焦光学系统波像差的光学仪器.为了统一数字式激光平面干涉仪测量量值,保证其测量结果的准确性和溯源性,编写数字式激光平面干涉仪校准规范.简要介绍了数字式激光平面干涉仪校准规范的构成,被校仪器的技术指标和校准方法等.
數字式激光平麵榦涉儀是用于測量光學元件麵形和無焦光學繫統波像差的光學儀器.為瞭統一數字式激光平麵榦涉儀測量量值,保證其測量結果的準確性和溯源性,編寫數字式激光平麵榦涉儀校準規範.簡要介紹瞭數字式激光平麵榦涉儀校準規範的構成,被校儀器的技術指標和校準方法等.
수자식격광평면간섭의시용우측량광학원건면형화무초광학계통파상차적광학의기.위료통일수자식격광평면간섭의측량량치,보증기측량결과적준학성화소원성,편사수자식격광평면간섭의교준규범.간요개소료수자식격광평면간섭의교준규범적구성,피교의기적기술지표화교준방법등.
