固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2008年
2期
308-312,316
,共6页
吴顶和%方强%邵雪峰%俞宏坤
吳頂和%方彊%邵雪峰%俞宏坤
오정화%방강%소설봉%유굉곤
光发射显微镜%功率器件%漏电流定位%失效分析
光髮射顯微鏡%功率器件%漏電流定位%失效分析
광발사현미경%공솔기건%루전류정위%실효분석
光发射显微镜(PEM)系统是应用于微电子器件漏电流定位和分析的有效工具.利用PEM系统的激光光束诱导阻抗变化(OBIRCH)功能和光发射(EMMI)功能,从正面可直接对功率器件大的漏电流进行定位观察.利用PEM的EMMI功能,还可从背面对器件微弱的漏电流进行定位和分析.介绍了PEM系统对功率器件芯片不同量级的漏电流进行定位与分析的应用,为分析功率器件漏电流失效提供依据.
光髮射顯微鏡(PEM)繫統是應用于微電子器件漏電流定位和分析的有效工具.利用PEM繫統的激光光束誘導阻抗變化(OBIRCH)功能和光髮射(EMMI)功能,從正麵可直接對功率器件大的漏電流進行定位觀察.利用PEM的EMMI功能,還可從揹麵對器件微弱的漏電流進行定位和分析.介紹瞭PEM繫統對功率器件芯片不同量級的漏電流進行定位與分析的應用,為分析功率器件漏電流失效提供依據.
광발사현미경(PEM)계통시응용우미전자기건루전류정위화분석적유효공구.이용PEM계통적격광광속유도조항변화(OBIRCH)공능화광발사(EMMI)공능,종정면가직접대공솔기건대적루전류진행정위관찰.이용PEM적EMMI공능,환가종배면대기건미약적루전류진행정위화분석.개소료PEM계통대공솔기건심편불동량급적루전류진행정위여분석적응용,위분석공솔기건루전류실효제공의거.
