CAJ | 학술논문

具有体密度的高表面质量金属钨薄膜对材料高压状态方程研究具有十分重要的意义.综述了钨箔膜制备的几种方法,包括化学气相沉积、物理气相沉积、机械轧制、机械研磨抛光、化学抛光和电解抛光.综合比较后认为,采用电解抛光法可以基本满足状态方程靶用钨箔膜的需要.电解抛光可以制备表面质量比较高,厚度最小可达几微米的金属箔材,密度与原料相同,而且不会产生内应力、表面硬化、表面沾污问题,是制备低表面粗糙度、具有块材组织结构和密度材料的一种重要手段.
구유체밀도적고표면질량금속오박막대재료고압상태방정연구구유십분중요적의의.종술료오박막제비적궤충방법,포괄화학기상침적、물리기상침적、궤계알제、궤계연마포광、화학포광화전해포광.종합비교후인위,채용전해포광법가이기본만족상태방정파용오박막적수요.전해포광가이제비표면질량비교고,후도최소가체궤미미적금속박재,밀도여원료상동,이차불회산생내응력、표면경화、표면첨오문제,시제비저표면조조도、구유괴재조직결구화밀도재료적일충중요수단.