真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
3期
292-297
,共6页
PECVD%类金刚石膜%结构分析%摩擦性能
PECVD%類金剛石膜%結構分析%摩抆性能
PECVD%류금강석막%결구분석%마찰성능
以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在有机薄膜PET和载玻片上制备了类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜.通过红外光谱(FTIR)、拉曼光谱(Raman)分析了所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌;另外,还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究.实验得到:FTIR、Raman谱图分析发现碳氢膜主要由sp2和sp3杂化的碳氢化合物呈层状堆积而成,其组分与沉积参数密切相关;同时,sp2和sp3杂化比例影响所制备薄膜的致密性、均匀性和耐磨性能.
以C2H2為碳源,Ar氣為輔助氣體,利用射頻等離子體化學氣相沉積的方法在有機薄膜PET和載玻片上製備瞭類金剛石(diamond-like carbon,DLC)薄膜.通過紅外光譜(FTIR)、拉曼光譜(Raman)分析瞭所製備DLC薄膜的結構;利用原子力顯微鏡(AFM)分析瞭薄膜的錶麵形貌;另外,還利用摩抆磨損儀對薄膜的機械性能進行瞭研究.實驗得到:FTIR、Raman譜圖分析髮現碳氫膜主要由sp2和sp3雜化的碳氫化閤物呈層狀堆積而成,其組分與沉積參數密切相關;同時,sp2和sp3雜化比例影響所製備薄膜的緻密性、均勻性和耐磨性能.
이C2H2위탄원,Ar기위보조기체,이용사빈등리자체화학기상침적적방법재유궤박막PET화재파편상제비료류금강석(diamond-like carbon,DLC)박막.통과홍외광보(FTIR)、랍만광보(Raman)분석료소제비DLC박막적결구;이용원자력현미경(AFM)분석료박막적표면형모;령외,환이용마찰마손의대박막적궤계성능진행료연구.실험득도:FTIR、Raman보도분석발현탄경막주요유sp2화sp3잡화적탄경화합물정층상퇴적이성,기조분여침적삼수밀절상관;동시,sp2화sp3잡화비례영향소제비박막적치밀성、균균성화내마성능.
