机械设计
機械設計
궤계설계
Journal of Machine Design
2010年
7期
40-42
,共3页
定位%抑振%超精密%微动平台
定位%抑振%超精密%微動平檯
정위%억진%초정밀%미동평태
针对目前日益增多的超精密仪器仪表,一般给其提供良好工作环境的工作平台只能消除外界对其的振动干扰,对于仪器仪表自身各种执行机构动作所产生的干扰却无能为力.文中研究的微动平台不仅具有良好的定位功能,同时运用反定位原理,采用闭环PID控制算法,可以有效抑制设备自身产生的振动干扰,从而更全面地获得精密设备所需要的良好工作环境,实现真正意义上的超精密.
針對目前日益增多的超精密儀器儀錶,一般給其提供良好工作環境的工作平檯隻能消除外界對其的振動榦擾,對于儀器儀錶自身各種執行機構動作所產生的榦擾卻無能為力.文中研究的微動平檯不僅具有良好的定位功能,同時運用反定位原理,採用閉環PID控製算法,可以有效抑製設備自身產生的振動榦擾,從而更全麵地穫得精密設備所需要的良好工作環境,實現真正意義上的超精密.
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