激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2011年
5期
603-605
,共3页
刘小亮%孙少华%任忠国%丁宝卫%胡碧涛
劉小亮%孫少華%任忠國%丁寶衛%鬍碧濤
류소량%손소화%임충국%정보위%호벽도
测量与计量%激光技术%脉冲当量%回程差%微位移%He-Ne激光%牛顿环仪
測量與計量%激光技術%脈遲噹量%迴程差%微位移%He-Ne激光%牛頓環儀
측량여계량%격광기술%맥충당량%회정차%미위이%He-Ne격광%우돈배의
为了精确测量步进电机的脉冲当量和同程差,提出了一种基于薄膜干涉原理的激光微位移测量系统.该系统以He-Ne激光器为光源,配以牛顿环仪系统、面阵电荷耦合器视频信号采集系统、计算机及数据处理软件等.采用条纹记数法实现微位移测量,具有1/400波长的位移分辨率.与传统测量方法相比,其精度、灵敏度及稳定性都有较大提高,特别适合范围在微米及微米以下的位移测量.对TSA50-C型商用步进电机进行了测量.结果验证了这种测量系统在普通实验室环境噪声中可以达到纳米级的位移测量精度.结果表明,对于5μm以下的脉冲当量及回程差的测量,该测最系统的相对误差分别为2.63％和0.44％.
為瞭精確測量步進電機的脈遲噹量和同程差,提齣瞭一種基于薄膜榦涉原理的激光微位移測量繫統.該繫統以He-Ne激光器為光源,配以牛頓環儀繫統、麵陣電荷耦閤器視頻信號採集繫統、計算機及數據處理軟件等.採用條紋記數法實現微位移測量,具有1/400波長的位移分辨率.與傳統測量方法相比,其精度、靈敏度及穩定性都有較大提高,特彆適閤範圍在微米及微米以下的位移測量.對TSA50-C型商用步進電機進行瞭測量.結果驗證瞭這種測量繫統在普通實驗室環境譟聲中可以達到納米級的位移測量精度.結果錶明,對于5μm以下的脈遲噹量及迴程差的測量,該測最繫統的相對誤差分彆為2.63％和0.44％.
위료정학측량보진전궤적맥충당량화동정차,제출료일충기우박막간섭원리적격광미위이측량계통.해계통이He-Ne격광기위광원,배이우돈배의계통、면진전하우합기시빈신호채집계통、계산궤급수거처리연건등.채용조문기수법실현미위이측량,구유1/400파장적위이분변솔.여전통측량방법상비,기정도、령민도급은정성도유교대제고,특별괄합범위재미미급미미이하적위이측량.대TSA50-C형상용보진전궤진행료측량.결과험증료저충측량계통재보통실험실배경조성중가이체도납미급적위이측량정도.결과표명,대우5μm이하적맥충당량급회정차적측량,해측최계통적상대오차분별위2.63％화0.44％.
