光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
1期
1-8
,共8页
徐向东%刘正坤%邱克强%刘颖%洪义麟%付绍军
徐嚮東%劉正坤%邱剋彊%劉穎%洪義麟%付紹軍
서향동%류정곤%구극강%류영%홍의린%부소군
单色仪%衍射光栅%全息光刘%离子束刻蚀%真空紫外
單色儀%衍射光柵%全息光劉%離子束刻蝕%真空紫外
단색의%연사광책%전식광류%리자속각식%진공자외
针对国家同步辐射实验室燃烧与火焰实验站中1 m Seya-Namioka单色仪对光栅的需求,采用全息离子束刻蚀工艺制作了1 200 lp/mm Laminar光栅.首先,通过光刻胶灰化技术调节光刻胶光栅掩模占空比,在理论设计的误差允许范围内,对此光栅掩模进行扫描离子束刻蚀；然后,将光栅图形转移到光栅基底中去除残余光刻胶；最后,采用离子束溅射法镀制厚约40 nm的金反射膜,采用热蒸发法镀制厚约60 nm的铝反射膜.用原子力显微镜分析光栅微结构,结果显示光栅槽深为40 nm,占空比为0.45.同步辐射在线波长扫描测试结果表明,镀铝光栅效率明显高于镀金光栅,获得的实验结果与理论计算结果基本符合.镀金光栅已替代进口光栅在线使用3年,其寿命大大超过复制光栅,基本满足了燃烧实验站的实验研究需求.
針對國傢同步輻射實驗室燃燒與火燄實驗站中1 m Seya-Namioka單色儀對光柵的需求,採用全息離子束刻蝕工藝製作瞭1 200 lp/mm Laminar光柵.首先,通過光刻膠灰化技術調節光刻膠光柵掩模佔空比,在理論設計的誤差允許範圍內,對此光柵掩模進行掃描離子束刻蝕；然後,將光柵圖形轉移到光柵基底中去除殘餘光刻膠；最後,採用離子束濺射法鍍製厚約40 nm的金反射膜,採用熱蒸髮法鍍製厚約60 nm的鋁反射膜.用原子力顯微鏡分析光柵微結構,結果顯示光柵槽深為40 nm,佔空比為0.45.同步輻射在線波長掃描測試結果錶明,鍍鋁光柵效率明顯高于鍍金光柵,穫得的實驗結果與理論計算結果基本符閤.鍍金光柵已替代進口光柵在線使用3年,其壽命大大超過複製光柵,基本滿足瞭燃燒實驗站的實驗研究需求.
침대국가동보복사실험실연소여화염실험참중1 m Seya-Namioka단색의대광책적수구,채용전식리자속각식공예제작료1 200 lp/mm Laminar광책.수선,통과광각효회화기술조절광각효광책엄모점공비,재이론설계적오차윤허범위내,대차광책엄모진행소묘리자속각식；연후,장광책도형전이도광책기저중거제잔여광각효；최후,채용리자속천사법도제후약40 nm적금반사막,채용열증발법도제후약60 nm적려반사막.용원자력현미경분석광책미결구,결과현시광책조심위40 nm,점공비위0.45.동보복사재선파장소묘측시결과표명,도려광책효솔명현고우도금광책,획득적실험결과여이론계산결과기본부합.도금광책이체대진구광책재선사용3년,기수명대대초과복제광책,기본만족료연소실험참적실험연구수구.
