电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2005年
8期
13-15,28
,共4页
90～65nm节点技术%超凝态过冷动力学清洗%微粗糙度%RMS(均方根误差值)%载流子迁移率
90～65nm節點技術%超凝態過冷動力學清洗%微粗糙度%RMS(均方根誤差值)%載流子遷移率
90～65nm절점기술%초응태과랭동역학청세%미조조도%RMS(균방근오차치)%재류자천이솔
简单说明了清洗技术在90～65 nm节点技术阶段的新发展,着重介绍了一种新的清洗技术-低温冷凝清洗技术产生的背景、技术现状及其应用,对我国半导体清洗行业的未来发展提出建议.
簡單說明瞭清洗技術在90～65 nm節點技術階段的新髮展,著重介紹瞭一種新的清洗技術-低溫冷凝清洗技術產生的揹景、技術現狀及其應用,對我國半導體清洗行業的未來髮展提齣建議.
간단설명료청세기술재90～65 nm절점기술계단적신발전,착중개소료일충신적청세기술-저온냉응청세기술산생적배경、기술현상급기응용,대아국반도체청세행업적미래발전제출건의.
