CAJ | 학술논문

目前,薄膜在现代科学技术中的重要性与日俱增,基本上各种技术都离不开薄膜.薄膜均匀性在光学、光电及微机电系统(MEMS)等器件的加工工艺中起着不可估量的作用.首先,对点源小面积薄膜均匀性的公式进行理论推导;其次,分析了平面和球面夹具的基片薄膜均匀性公式,并根据这些理论公式着重分析影响薄膜均匀性的各种因素以及改进措施;最后,通过对实验数据的分析研究来不断地改进薄膜均匀性的夹具,改善器件的膜厚均匀性、一致性,从而达到提高器件的稳定性和可靠性,降低生产成本的目的.
목전,박막재현대과학기술중적중요성여일구증,기본상각충기술도리불개박막.박막균균성재광학、광전급미궤전계통(MEMS)등기건적가공공예중기착불가고량적작용.수선,대점원소면적박막균균성적공식진행이론추도;기차,분석료평면화구면협구적기편박막균균성공식,병근거저사이론공식착중분석영향박막균균성적각충인소이급개진조시;최후,통과대실험수거적분석연구래불단지개진박막균균성적협구,개선기건적막후균균성、일치성,종이체도제고기건적은정성화가고성,강저생산성본적목적.