CAJ | 학술논문

采用超高真空热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以甲烷和氢气为反应气体,在YG13(WC-13%Co)硬质合金基体上沉积金刚石薄膜.用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对金刚石薄膜进行检测分析,研究YG13经950℃、3 h硼化预处理后沉积气压对金刚石薄膜形貌和生长织构的影响;通过压痕法比较硼化与二步法两种预处理方法对金刚石薄膜附着性能的影响.结果表明,基体经硼化预处理后表面形成CoB、CoW2B2、CoW3B3相;当沉积温度为750～800 ℃,碳源浓度为3.3%时,薄膜表面形貌和生长织构随着沉积气压改变有明显的变化;硼化预处理后所得样品在1 500 N载荷下压痕表现出良好的附着性能,较二步法预处理更加有效地改善了膜-基附着性能.
채용초고진공열사화학기상침적(HFCVD)계통,이갑완화경기위반응기체,재YG13(WC-13%Co)경질합금기체상침적금강석박막.용장발사소묘전자현미경(FESEM)화X사선연사의(XRD)대금강석박막진행검측분석,연구YG13경950℃、3 h붕화예처리후침적기압대금강석박막형모화생장직구적영향;통과압흔법비교붕화여이보법량충예처리방법대금강석박막부착성능적영향.결과표명,기체경붕화예처리후표면형성CoB、CoW2B2、CoW3B3상;당침적온도위750～800 ℃,탄원농도위3.3%시,박막표면형모화생장직구수착침적기압개변유명현적변화;붕화예처리후소득양품재1 500 N재하하압흔표현출량호적부착성능,교이보법예처리경가유효지개선료막-기부착성능.