真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
1期
32-36
,共5页
章程%方志%赵龙章%邱毓昌
章程%方誌%趙龍章%邱毓昌
장정%방지%조룡장%구육창
介质阻挡放电%微放电%等效电路模型%动态仿真模型
介質阻擋放電%微放電%等效電路模型%動態倣真模型
개질조당방전%미방전%등효전로모형%동태방진모형
基于用电压控制电流源(CCS)模拟微放电过程的DBD等效电路模型,建立了DBD的动态仿真模型来对空气中平板电极结构DBD的放电过程进行仿真,计算得到了放电的电压、电流波形及Lissajous图形.同时建立了相应的实验装置对DBD进行实验研究,并将仿真与实测所得到的结果进行比较和分析.结果表明,仿真结果与实验结果是一致的,说明本文建立的模型能真实反映DBD的放电情况,可以用来辅助研究DBD的放电特性和优化DBD等离子反应器设计.
基于用電壓控製電流源(CCS)模擬微放電過程的DBD等效電路模型,建立瞭DBD的動態倣真模型來對空氣中平闆電極結構DBD的放電過程進行倣真,計算得到瞭放電的電壓、電流波形及Lissajous圖形.同時建立瞭相應的實驗裝置對DBD進行實驗研究,併將倣真與實測所得到的結果進行比較和分析.結果錶明,倣真結果與實驗結果是一緻的,說明本文建立的模型能真實反映DBD的放電情況,可以用來輔助研究DBD的放電特性和優化DBD等離子反應器設計.
기우용전압공제전류원(CCS)모의미방전과정적DBD등효전로모형,건립료DBD적동태방진모형래대공기중평판전겁결구DBD적방전과정진행방진,계산득도료방전적전압、전류파형급Lissajous도형.동시건립료상응적실험장치대DBD진행실험연구,병장방진여실측소득도적결과진행비교화분석.결과표명,방진결과여실험결과시일치적,설명본문건립적모형능진실반영DBD적방전정황,가이용래보조연구DBD적방전특성화우화DBD등리자반응기설계.