中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
1期
134-138
,共5页
孔光明%鄂书林%邓文渊%郭洪波%张大明%陈长鸣
孔光明%鄂書林%鄧文淵%郭洪波%張大明%陳長鳴
공광명%악서림%산문연%곽홍파%장대명%진장명
集成光学%微环谐振滤波器%紫外光刻%SU-8
集成光學%微環諧振濾波器%紫外光刻%SU-8
집성광학%미배해진려파기%자외광각%SU-8
设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器,并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层,聚合物CYTOP为下包层,在硅基底上完成了器件的制备.器件的波导端面尺寸为2 μm×1 μm,与设计值相符,扫描电镜显示所制备的器件波导侧壁陡直度较高.直波导传输损耗的测试结果表明,在1550 nm波长,直波导传输损耗约为2.0 dB/cm.测试并获得了多模干涉结构和器件的通光及输出光谱图\.测试结果表明,MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50∶50的功分比,微环谐振滤波器的通光性能良好,实现了滤波功能,器件的自由光谱区FSR实际值约为0.94 nm,与设计参数值很接近.研究结果表明采用聚合物SU-8制备小波导尺寸微环谐振器的器件简便可行.
設計瞭一種基于多模榦涉(MMI)耦閤輸入/輸齣結構的跑道型雙微環串聯諧振濾波器,併採用紫外光敏聚閤物材料SU-8作波導芯層,聚閤物CYTOP為下包層,在硅基底上完成瞭器件的製備.器件的波導耑麵呎吋為2 μm×1 μm,與設計值相符,掃描電鏡顯示所製備的器件波導側壁陡直度較高.直波導傳輸損耗的測試結果錶明,在1550 nm波長,直波導傳輸損耗約為2.0 dB/cm.測試併穫得瞭多模榦涉結構和器件的通光及輸齣光譜圖\.測試結果錶明,MMI結構在較寬的波長範圍內實現瞭接近50∶50的功分比,微環諧振濾波器的通光性能良好,實現瞭濾波功能,器件的自由光譜區FSR實際值約為0.94 nm,與設計參數值很接近.研究結果錶明採用聚閤物SU-8製備小波導呎吋微環諧振器的器件簡便可行.
설계료일충기우다모간섭(MMI)우합수입/수출결구적포도형쌍미배천련해진려파기,병채용자외광민취합물재료SU-8작파도심층,취합물CYTOP위하포층,재규기저상완성료기건적제비.기건적파도단면척촌위2 μm×1 μm,여설계치상부,소묘전경현시소제비적기건파도측벽두직도교고.직파도전수손모적측시결과표명,재1550 nm파장,직파도전수손모약위2.0 dB/cm.측시병획득료다모간섭결구화기건적통광급수출광보도\.측시결과표명,MMI결구재교관적파장범위내실현료접근50∶50적공분비,미배해진려파기적통광성능량호,실현료려파공능,기건적자유광보구FSR실제치약위0.94 nm,여설계삼수치흔접근.연구결과표명채용취합물SU-8제비소파도척촌미배해진기적기건간편가행.
