光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
2期
473-477
,共5页
赵成强%徐文东%洪小刚%李小刚%唐晓东
趙成彊%徐文東%洪小剛%李小剛%唐曉東
조성강%서문동%홍소강%리소강%당효동
光刻%表面等离子体共振%原子力显微镜%探针
光刻%錶麵等離子體共振%原子力顯微鏡%探針
광각%표면등리자체공진%원자력현미경%탐침
提出了一种在原子力显微镜(AFM)基础上设计的探针诱导表面等离子体共振纳米光刻(PSPRN)系统.此系统不但实现了探针的精确控制,而且由于系统本身具有AFM的全部功能,因此可以实时检测样品表面的形貌以及光刻效果.系统采用改进的Kretschmann型共振耦合器件,在棱镜和样品基板之间注入匹配折射率油,使样品更方便更换;利用声光调制器与AFM配合实现了等离子体激发光照射时间的精确控制.通过初步实验,在银(Ag)膜表面获得了直径100 nm左右的光刻点,验证了PSPRN的可行性.研究了光照时间、激光功率、激光入射角、材料厚度等因素对光刻点大小、深度的影响,为实现更小的光刻点提供了参考.
提齣瞭一種在原子力顯微鏡(AFM)基礎上設計的探針誘導錶麵等離子體共振納米光刻(PSPRN)繫統.此繫統不但實現瞭探針的精確控製,而且由于繫統本身具有AFM的全部功能,因此可以實時檢測樣品錶麵的形貌以及光刻效果.繫統採用改進的Kretschmann型共振耦閤器件,在稜鏡和樣品基闆之間註入匹配摺射率油,使樣品更方便更換;利用聲光調製器與AFM配閤實現瞭等離子體激髮光照射時間的精確控製.通過初步實驗,在銀(Ag)膜錶麵穫得瞭直徑100 nm左右的光刻點,驗證瞭PSPRN的可行性.研究瞭光照時間、激光功率、激光入射角、材料厚度等因素對光刻點大小、深度的影響,為實現更小的光刻點提供瞭參攷.
제출료일충재원자력현미경(AFM)기출상설계적탐침유도표면등리자체공진납미광각(PSPRN)계통.차계통불단실현료탐침적정학공제,이차유우계통본신구유AFM적전부공능,인차가이실시검측양품표면적형모이급광각효과.계통채용개진적Kretschmann형공진우합기건,재릉경화양품기판지간주입필배절사솔유,사양품경방편경환;이용성광조제기여AFM배합실현료등리자체격발광조사시간적정학공제.통과초보실험,재은(Ag)막표면획득료직경100 nm좌우적광각점,험증료PSPRN적가행성.연구료광조시간、격광공솔、격광입사각、재료후도등인소대광각점대소、심도적영향,위실현경소적광각점제공료삼고.
