CAJ | 학술논문

为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制.实验中发现:由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题.通过对采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器微结构进行分析,建立了传感器主要噪声来源同频干扰的等效电路模型,据此提出一种新的不对称双端激励解决方法.实验结果表明,该方法可有效地降低传感器的同频干扰,传感器的信噪比由1.53提高至35,为传感器闭环激励和检测提供了有效的手段.
위간화해진식미궤계압력전감기적제비공예,제출료일충채용확산규작위해진량적압력전감기,병채용전자격려실현전감기적폐배공제.실험중발현:유우채용확산규재료,전감기수도교위엄중적동빈간우영향,인차,소제전감기적동빈간우성위수요해결적일개주요문제.통과대채용확산규작위해진량적압력전감기미결구진행분석,건립료전감기주요조성래원동빈간우적등효전로모형,거차제출일충신적불대칭쌍단격려해결방법.실험결과표명,해방법가유효지강저전감기적동빈간우,전감기적신조비유1.53제고지35,위전감기폐배격려화검측제공료유효적수단.