人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2009年
2期
535-538
,共4页
杨杨%王领航%介万奇%王亚彬%傅莉
楊楊%王領航%介萬奇%王亞彬%傅莉
양양%왕령항%개만기%왕아빈%부리
HgInTe%化学抛光%腐蚀速率%表面粗糙度
HgInTe%化學拋光%腐蝕速率%錶麵粗糙度
HgInTe%화학포광%부식속솔%표면조조도
对HgInTe(MIT)晶片表面化学抛光工艺进行了研究,采用不同浓度的Br2-C3H7ON以及Br2-MeOH作为抛光液对MIT晶片进行化学抛光后发现,5%Br2-C3H7ON抛光液的抛光速度平稳且易于控制,抛光3min后可以有效去除表面划痕,获得光亮表面,表面形貌达到最佳效果.AFM分析结果表明,5%Br2-C3H7ON抛光后的晶片表面粗糙度降低67%,平整度显著增加.相比之下,5%Br2-MeOH抛光液抛光速度过快,抛光后的表面形貌较差.
對HgInTe(MIT)晶片錶麵化學拋光工藝進行瞭研究,採用不同濃度的Br2-C3H7ON以及Br2-MeOH作為拋光液對MIT晶片進行化學拋光後髮現,5%Br2-C3H7ON拋光液的拋光速度平穩且易于控製,拋光3min後可以有效去除錶麵劃痕,穫得光亮錶麵,錶麵形貌達到最佳效果.AFM分析結果錶明,5%Br2-C3H7ON拋光後的晶片錶麵粗糙度降低67%,平整度顯著增加.相比之下,5%Br2-MeOH拋光液拋光速度過快,拋光後的錶麵形貌較差.
대HgInTe(MIT)정편표면화학포광공예진행료연구,채용불동농도적Br2-C3H7ON이급Br2-MeOH작위포광액대MIT정편진행화학포광후발현,5%Br2-C3H7ON포광액적포광속도평은차역우공제,포광3min후가이유효거제표면화흔,획득광량표면,표면형모체도최가효과.AFM분석결과표명,5%Br2-C3H7ON포광후적정편표면조조도강저67%,평정도현저증가.상비지하,5%Br2-MeOH포광액포광속도과쾌,포광후적표면형모교차.
