激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2010年
3期
347-350
,共4页
王英%李玉华%王新林%廖常锐%陆培祥
王英%李玉華%王新林%廖常銳%陸培祥
왕영%리옥화%왕신림%료상예%륙배상
激光技术%飞秒激光%微加工%微型悬臂梁%参量优化
激光技術%飛秒激光%微加工%微型懸臂樑%參量優化
격광기술%비초격광%미가공%미형현비량%삼량우화
为了研究飞秒激光对不锈钢材料的加工工艺,采用基于飞秒激光材料烧蚀的微细加工方法,深入研究了飞秒激光高效高质量微细加工不锈钢材料的工艺条件与参量优化,并应用于微型不锈钢悬臂梁的制作.分析了激光能量密度、激光扫描速度、重复扫描次数对加工形貌和蚀除速率的影响,制作出了高质量的微米量级的不锈钢微型悬臂梁.结果表明,飞秒激光微细加工是一种极具前途与极具柔性的微机电系统器件加工手段.
為瞭研究飛秒激光對不鏽鋼材料的加工工藝,採用基于飛秒激光材料燒蝕的微細加工方法,深入研究瞭飛秒激光高效高質量微細加工不鏽鋼材料的工藝條件與參量優化,併應用于微型不鏽鋼懸臂樑的製作.分析瞭激光能量密度、激光掃描速度、重複掃描次數對加工形貌和蝕除速率的影響,製作齣瞭高質量的微米量級的不鏽鋼微型懸臂樑.結果錶明,飛秒激光微細加工是一種極具前途與極具柔性的微機電繫統器件加工手段.
위료연구비초격광대불수강재료적가공공예,채용기우비초격광재료소식적미세가공방법,심입연구료비초격광고효고질량미세가공불수강재료적공예조건여삼량우화,병응용우미형불수강현비량적제작.분석료격광능량밀도、격광소묘속도、중복소묘차수대가공형모화식제속솔적영향,제작출료고질량적미미량급적불수강미형현비량.결과표명,비초격광미세가공시일충겁구전도여겁구유성적미궤전계통기건가공수단.
