稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2011年
2期
255-258
,共4页
刘建立%王智%张玉娟%张平余
劉建立%王智%張玉娟%張平餘
류건립%왕지%장옥연%장평여
离子束溅射沉积%Ti6Al4V合金%DLC膜%摩擦学性能%腐蚀行为
離子束濺射沉積%Ti6Al4V閤金%DLC膜%摩抆學性能%腐蝕行為
리자속천사침적%Ti6Al4V합금%DLC막%마찰학성능%부식행위
采用离子束沉积技术在医用Ti6Al4v合金表面制备类金刚石薄膜(DLC),利用原子力显微镜、Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)及UMT.2摩擦磨损试验机对薄膜的形貌、结构、摩擦学性能进行表征.采用动电位极化对涂层前后基底的耐腐蚀性能进行测试.结果表明:制备薄膜为类金刚石碳结构,基底偏压对薄膜形貌、结构有较大影响;偏压为-100 V时制备的薄膜表面粗糙度低(6.5mm),sp3/sp2比值高,摩擦学性能优异;经DLC膜保护的合金基底耐腐蚀性能获得明显改善.
採用離子束沉積技術在醫用Ti6Al4v閤金錶麵製備類金剛石薄膜(DLC),利用原子力顯微鏡、Raman光譜、X射線光電子能譜(XPS)及UMT.2摩抆磨損試驗機對薄膜的形貌、結構、摩抆學性能進行錶徵.採用動電位極化對塗層前後基底的耐腐蝕性能進行測試.結果錶明:製備薄膜為類金剛石碳結構,基底偏壓對薄膜形貌、結構有較大影響;偏壓為-100 V時製備的薄膜錶麵粗糙度低(6.5mm),sp3/sp2比值高,摩抆學性能優異;經DLC膜保護的閤金基底耐腐蝕性能穫得明顯改善.
채용리자속침적기술재의용Ti6Al4v합금표면제비류금강석박막(DLC),이용원자력현미경、Raman광보、X사선광전자능보(XPS)급UMT.2마찰마손시험궤대박막적형모、결구、마찰학성능진행표정.채용동전위겁화대도층전후기저적내부식성능진행측시.결과표명:제비박막위류금강석탄결구,기저편압대박막형모、결구유교대영향;편압위-100 V시제비적박막표면조조도저(6.5mm),sp3/sp2비치고,마찰학성능우이;경DLC막보호적합금기저내부식성능획득명현개선.
