计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2010年
z2期
197-200
,共4页
薛梓%叶孝佑%武永波%占伟伟%王鹤岩%杨国梁
薛梓%葉孝祐%武永波%佔偉偉%王鶴巖%楊國樑
설재%협효우%무영파%점위위%왕학암%양국량
计量学%直径%形状%精密测量
計量學%直徑%形狀%精密測量
계량학%직경%형상%정밀측량
直径和形状参量是表征回转体工件不同特性的两个参量,在常规的高精度测量中直径和形状是分别测量再合成表征的,其合成测量不确定度会增大,测量时间比较长.为了满足回转体类工件超精密制造精度不断提高的要求,需要研究不确定度为0.1μm的直径和形状综合测量技术和方法.根据直径和形状的测量原理、实现和评价方法间的差异,提出了制约超精密直径和形状综合测量准确度的几个关键技术难点并分析了其相互制约的原因,在解决了这些关键技术难点后,研制了高精度直径和形状综合测量装置,该装置可一次装夹调整工件后,直接测量直径和形状参量.
直徑和形狀參量是錶徵迴轉體工件不同特性的兩箇參量,在常規的高精度測量中直徑和形狀是分彆測量再閤成錶徵的,其閤成測量不確定度會增大,測量時間比較長.為瞭滿足迴轉體類工件超精密製造精度不斷提高的要求,需要研究不確定度為0.1μm的直徑和形狀綜閤測量技術和方法.根據直徑和形狀的測量原理、實現和評價方法間的差異,提齣瞭製約超精密直徑和形狀綜閤測量準確度的幾箇關鍵技術難點併分析瞭其相互製約的原因,在解決瞭這些關鍵技術難點後,研製瞭高精度直徑和形狀綜閤測量裝置,該裝置可一次裝夾調整工件後,直接測量直徑和形狀參量.
직경화형상삼량시표정회전체공건불동특성적량개삼량,재상규적고정도측량중직경화형상시분별측량재합성표정적,기합성측량불학정도회증대,측량시간비교장.위료만족회전체류공건초정밀제조정도불단제고적요구,수요연구불학정도위0.1μm적직경화형상종합측량기술화방법.근거직경화형상적측량원리、실현화평개방법간적차이,제출료제약초정밀직경화형상종합측량준학도적궤개관건기술난점병분석료기상호제약적원인,재해결료저사관건기술난점후,연제료고정도직경화형상종합측량장치,해장치가일차장협조정공건후,직접측량직경화형상삼량.
