真空
真空
진공
VACUUM
2011年
5期
61-63
,共3页
张馨元%赵广彬%孙爱祥%葛高峰%栾道成
張馨元%趙廣彬%孫愛祥%葛高峰%欒道成
장형원%조엄빈%손애상%갈고봉%란도성
TiAlN薄膜%非平衡磁控溅射%抗氧化
TiAlN薄膜%非平衡磁控濺射%抗氧化
TiAlN박막%비평형자공천사%항양화
采用非平衡磁控溅射技术在硬质合金基体上制备了TiAlN薄膜.在400℃-800℃对试样进行氧化实验,利用XRD,SEM,精密电子天平等对TiAlN薄膜的物相、断口组织形貌以及氧化增重结果进行分析.实验结果发现,在800℃以下,TiAlN薄膜具有良好的抗高温氧化性.
採用非平衡磁控濺射技術在硬質閤金基體上製備瞭TiAlN薄膜.在400℃-800℃對試樣進行氧化實驗,利用XRD,SEM,精密電子天平等對TiAlN薄膜的物相、斷口組織形貌以及氧化增重結果進行分析.實驗結果髮現,在800℃以下,TiAlN薄膜具有良好的抗高溫氧化性.
채용비평형자공천사기술재경질합금기체상제비료TiAlN박막.재400℃-800℃대시양진행양화실험,이용XRD,SEM,정밀전자천평등대TiAlN박막적물상、단구조직형모이급양화증중결과진행분석.실험결과발현,재800℃이하,TiAlN박막구유량호적항고온양화성.
