纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2008年
1期
76-79
,共4页
李昌青%胡明%梁继然%张伟
李昌青%鬍明%樑繼然%張偉
리창청%호명%량계연%장위
多孔硅%溅射%热敏薄膜%电阻温度系数
多孔硅%濺射%熱敏薄膜%電阻溫度繫數
다공규%천사%열민박막%전조온도계수
对MEMS用具有绝热性能的多孔硅基底上沉积的热敏感薄膜进行了研究.首先用电化学方法制备多孔硅,分别在多孔硅基底和硅基底上通过溅射镀膜方法沉积氧化钒、Cu、Au热敏薄膜,测试多孔硅基底和硅基底上的氧化钒及金属薄膜电阻的热敏特性.结果表明,在多孔硅基底表面沉积的热敏薄膜具有与硅基表面热敏薄膜同样的热敏特性且表现出更高的灵敏度;此外,对沉积在不同制备条件得到的多孔硅上的氧化钒薄膜电阻热敏特性进行比较,发现随着孔隙率和厚度的增加,多孔硅的绝热性能提高,其上沉积的氧化钒薄膜电阻热敏特性增强.
對MEMS用具有絕熱性能的多孔硅基底上沉積的熱敏感薄膜進行瞭研究.首先用電化學方法製備多孔硅,分彆在多孔硅基底和硅基底上通過濺射鍍膜方法沉積氧化釩、Cu、Au熱敏薄膜,測試多孔硅基底和硅基底上的氧化釩及金屬薄膜電阻的熱敏特性.結果錶明,在多孔硅基底錶麵沉積的熱敏薄膜具有與硅基錶麵熱敏薄膜同樣的熱敏特性且錶現齣更高的靈敏度;此外,對沉積在不同製備條件得到的多孔硅上的氧化釩薄膜電阻熱敏特性進行比較,髮現隨著孔隙率和厚度的增加,多孔硅的絕熱性能提高,其上沉積的氧化釩薄膜電阻熱敏特性增彊.
대MEMS용구유절열성능적다공규기저상침적적열민감박막진행료연구.수선용전화학방법제비다공규,분별재다공규기저화규기저상통과천사도막방법침적양화범、Cu、Au열민박막,측시다공규기저화규기저상적양화범급금속박막전조적열민특성.결과표명,재다공규기저표면침적적열민박막구유여규기표면열민박막동양적열민특성차표현출경고적령민도;차외,대침적재불동제비조건득도적다공규상적양화범박막전조열민특성진행비교,발현수착공극솔화후도적증가,다공규적절열성능제고,기상침적적양화범박막전조열민특성증강.
