纺织高校基础科学学报
紡織高校基礎科學學報
방직고교기출과학학보
BASIC SCIENCES JOURNAL OF TEXTILE UNIVERSITIES
2009年
1期
102-106
,共5页
余花娃%杜亚利%王晶%严祥安%高宾
餘花娃%杜亞利%王晶%嚴祥安%高賓
여화왜%두아리%왕정%엄상안%고빈
ZnO薄膜%X射线衍射分析%原子力显微镜%退火温度%透射率
ZnO薄膜%X射線衍射分析%原子力顯微鏡%退火溫度%透射率
ZnO박막%X사선연사분석%원자력현미경%퇴화온도%투사솔
采用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出具有(002)择优取向ZnO薄膜.利用X射线衍射分析(XRD)、原子力显微镜(AFM)、双光束紫外可见分光光度计等仪器分析了退火温度对ZnO薄膜的结构、应力状态、表面形貌和光学性能的影响.结果表明,在射频功率为100W时所制备的ZnO薄膜,当退火温度为600℃时,能获得最佳c轴取向和最小半高宽,此时ZnO薄膜具有较低的表面粗糙度和较高的透射率.
採用射頻磁控濺射法在硅襯底上製備齣具有(002)擇優取嚮ZnO薄膜.利用X射線衍射分析(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、雙光束紫外可見分光光度計等儀器分析瞭退火溫度對ZnO薄膜的結構、應力狀態、錶麵形貌和光學性能的影響.結果錶明,在射頻功率為100W時所製備的ZnO薄膜,噹退火溫度為600℃時,能穫得最佳c軸取嚮和最小半高寬,此時ZnO薄膜具有較低的錶麵粗糙度和較高的透射率.
채용사빈자공천사법재규츤저상제비출구유(002)택우취향ZnO박막.이용X사선연사분석(XRD)、원자력현미경(AFM)、쌍광속자외가견분광광도계등의기분석료퇴화온도대ZnO박막적결구、응력상태、표면형모화광학성능적영향.결과표명,재사빈공솔위100W시소제비적ZnO박막,당퇴화온도위600℃시,능획득최가c축취향화최소반고관,차시ZnO박막구유교저적표면조조도화교고적투사솔.
