电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2009年
2期
116-121
,共6页
刘安平%郭红华%朱坤%覃国平%王斌波
劉安平%郭紅華%硃坤%覃國平%王斌波
류안평%곽홍화%주곤%담국평%왕빈파
扫描隧道显微镜%原子力显微镜%系统设计
掃描隧道顯微鏡%原子力顯微鏡%繫統設計
소묘수도현미경%원자력현미경%계통설계
原子力显微镜(AFM)是当前进行材料表面微观形貌观察及分析的强有力工具之一.本文主要介绍一种隧道显微镜(STM)检测方式的原子力显微镜纳米检测系统(AFM.IPC-208B),该AFM系统设计是在STM.IPC-205B系统设计的基础上,采用隧道电流工作方式,将STM与AFM功能组合兼容.文章详细阐述了AFM.IPC-208B系统的设计原理、镜体、扫描控制以及数据采集.新设计的AFM.IPC-208B系统仍具有0.1 nm的分辨率,检测范围为0～2mm×2 mm,系统操作简易,工作效率高,与原STM.IPC-205B系统兼容,工作性能稳定可靠.
原子力顯微鏡(AFM)是噹前進行材料錶麵微觀形貌觀察及分析的彊有力工具之一.本文主要介紹一種隧道顯微鏡(STM)檢測方式的原子力顯微鏡納米檢測繫統(AFM.IPC-208B),該AFM繫統設計是在STM.IPC-205B繫統設計的基礎上,採用隧道電流工作方式,將STM與AFM功能組閤兼容.文章詳細闡述瞭AFM.IPC-208B繫統的設計原理、鏡體、掃描控製以及數據採集.新設計的AFM.IPC-208B繫統仍具有0.1 nm的分辨率,檢測範圍為0～2mm×2 mm,繫統操作簡易,工作效率高,與原STM.IPC-205B繫統兼容,工作性能穩定可靠.
원자력현미경(AFM)시당전진행재료표면미관형모관찰급분석적강유력공구지일.본문주요개소일충수도현미경(STM)검측방식적원자력현미경납미검측계통(AFM.IPC-208B),해AFM계통설계시재STM.IPC-205B계통설계적기출상,채용수도전류공작방식,장STM여AFM공능조합겸용.문장상세천술료AFM.IPC-208B계통적설계원리、경체、소묘공제이급수거채집.신설계적AFM.IPC-208B계통잉구유0.1 nm적분변솔,검측범위위0～2mm×2 mm,계통조작간역,공작효솔고,여원STM.IPC-205B계통겸용,공작성능은정가고.
