真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
1998年
3期
232-235
,共4页
孙平%孙云峰%牛家胜%丁凤莲%孙寅官
孫平%孫雲峰%牛傢勝%丁鳳蓮%孫寅官
손평%손운봉%우가성%정봉련%손인관
原位电阻%无限层薄膜%热处理
原位電阻%無限層薄膜%熱處理
원위전조%무한층박막%열처리
用原位电阻法监测了无限层薄膜(Sr0.7Ca0.3)0.9K0.1CuO2沉积时电阻随时间(即膜厚)的变化过程,以及薄膜热处理过程中电阻随温度的变化过程.通过监测了解到氧含量在无限层薄膜中起着重要作用.沉积完毕对真空室充入0.1MPaO2时薄膜吸氧.对薄膜热处理时,薄膜吸氧或放氧发生在330℃以上.低真空条件下的热处理过程是可逆的;而在高真空条件下,薄膜在高温时分解,显示出半导体行为.该方法直观有效,也可以成为制备其他非绝缘薄膜的监测手段.
用原位電阻法鑑測瞭無限層薄膜(Sr0.7Ca0.3)0.9K0.1CuO2沉積時電阻隨時間(即膜厚)的變化過程,以及薄膜熱處理過程中電阻隨溫度的變化過程.通過鑑測瞭解到氧含量在無限層薄膜中起著重要作用.沉積完畢對真空室充入0.1MPaO2時薄膜吸氧.對薄膜熱處理時,薄膜吸氧或放氧髮生在330℃以上.低真空條件下的熱處理過程是可逆的;而在高真空條件下,薄膜在高溫時分解,顯示齣半導體行為.該方法直觀有效,也可以成為製備其他非絕緣薄膜的鑑測手段.
용원위전조법감측료무한층박막(Sr0.7Ca0.3)0.9K0.1CuO2침적시전조수시간(즉막후)적변화과정,이급박막열처리과정중전조수온도적변화과정.통과감측료해도양함량재무한층박막중기착중요작용.침적완필대진공실충입0.1MPaO2시박막흡양.대박막열처리시,박막흡양혹방양발생재330℃이상.저진공조건하적열처리과정시가역적;이재고진공조건하,박막재고온시분해,현시출반도체행위.해방법직관유효,야가이성위제비기타비절연박막적감측수단.
